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X射线衍射仪（XRD）
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主题：【求助】求教氮化硅的XRD图谱分析

浏览0 回复8 电梯直达
笑小555
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发表于：2016/06/03 21:47:41 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
第一次用XRD，在玻璃和不锈钢片上镀了一层氮化硅薄膜，硅靶，Ar气溅射气体，氮气反应气体，用XRD怎么知道上面的薄膜是氮化硅。。。在此先谢各位好汉了附有图片
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linzhanbin
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2016/6/4 14:49:57 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是自己做的吗？
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翔施
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2016/6/4 21:26:33 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
数据分析求助类帖子，请上传原始数据！！！
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水清鱼读月
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2016/6/4 22:28:44 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
XRD似乎证明了你做的样品不是晶态的氮化硅，因为载玻片的衍射图上，只有20°左右有个馒头峰，这是玻璃的非晶峰。
至于说Si和N有没有反应形成非晶态的氮化硅，这个也是你现在的数据看不出来的。
你可以使用薄膜衍射做做看，根据你镀膜的厚度，固定入射角度为0.5°之类的，看看是否有衍射峰，如果还是不出峰，那么试一试其他分析技术吧。
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笑小555
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2016/6/5 19:20:50 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 linzhanbin(v2814929) 发表:
是自己做的吗？
恩  是自己做的  只是在摸索工艺阶段  不知道做出来的成分对不对
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笑小555
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2016/6/5 19:24:50 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 翔施(v2653735) 发表:
数据分析求助类帖子，请上传原始数据！！！


这个是Jade读取出来的图谱  请问原始数据是什么
小的一个机械女  确实对这些不懂 望见谅
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笑小555
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2016/6/5 19:41:03 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 水清鱼读月(loaferfdu) 发表:
XRD似乎证明了你做的样品不是晶态的氮化硅，因为载玻片的衍射图上，只有20°左右有个馒头峰，这是玻璃的非晶峰。
至于说Si和N有没有反应形成非晶态的氮化硅，这个也是你现在的数据看不出来的。
你可以使用薄膜衍射做做看，根据你镀膜的厚度，固定入射角度为0.5°之类的，看看是否有衍射峰，如果还是不出峰，那么试一试其他分析技术吧。


请问氮化硅的衍射峰大概在多少度  ？
薄膜衍射跟X射线衍射仪有区别么？
请原谅在下才疏学浅，刚刚百度了也不知道
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翔施
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2016/6/5 21:19:35 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 笑小555(v3114226) 发表:
这个是Jade读取出来的图谱  请问原始数据是什么
小的一个机械女  确实对这些不懂 望见谅


原始就是你的jade所读的数据！测试人员给你的数据。不是要你读出来的图片，而是要把数据给我们，我们自己用软件读。
我也不知道跟说清楚了没，就是txt或者raw或者xrdml等等后缀的文件。
你的原始数据上传到附件，我们才能用我们自己的分析软件帮你分析的。
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水清鱼读月
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2016/6/6 11:01:36 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 笑小555(v3114226) 发表:
请问氮化硅的衍射峰大概在多少度  ？
薄膜衍射跟X射线衍射仪有区别么？
请原谅在下才疏学浅，刚刚百度了也不知道


帮你查了一下ICDD的PDF卡片库，β-Si3N4对应的卡片编号是33-1160，其三强峰位在27.0°、33.7°、36.0°（Cu靶）
当然，上述角度是体材料的衍射峰，薄膜因为是二维材料，有些峰会不出现的。
薄膜衍射是指入射角度小，比如0.5°、1°甚至更小，衬底的信号不进入检测器的情况。比如你做的样品，玻璃衬底没有出峰，不锈钢衬底的有峰，但是这个峰很可能是不锈钢的峰，而不是氮化硅的峰。
你现在的问题是，你也不清楚自己做的这个样品有没有结晶。不同的温度退火处理一下看看呢。
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