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主题：我有几年的薄膜设备和等离子刻蚀设备使用经验，大家有什么问题一起讨论下

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lilele
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2007/5/11 11:17:00 18楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位还有什么问题？请不要客气，我会尽力给大家解答直到你满意。
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lingfengwang198
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2008/4/16 11:48:12 19楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这位朋友真是热心肠。我想请教一下氧化物薄膜的刻蚀剂的配制方法，比如PZT，CoFe2O4等氧化物薄膜。因为我只是在实验室腐蚀几个薄膜，买刻蚀仪不太现实，所以对化学刻蚀比较感兴趣，
谢谢
也可以email指导
lingfengwang1981#yahoo.com.cn
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fangchength
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2009/4/9 13:25:08 20楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很多还是要求配湿法刻蚀液的，请问有这方面的资料吗？？？
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2009/4/9 13:26:04 21楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很多还是要求配湿法刻蚀液的，请问有这方面的资料吗？？？
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2009/4/9 13:26:12 22楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
很多还是要求配湿法刻蚀液的，请问有这方面的资料吗？？？
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sfox2009
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2011/9/8 10:04:51 23楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
想问问LZ，日本是不是有叫ovac或者是ovas的做刻蚀设备的厂家？
另外想让您推荐下,哪些厂家的设备能在si或者石英衬底上做深刻蚀?掩膜的话,用光刻胶.
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