主题:【求助】掠角衍射问题

浏览0 回复5 电梯直达
lcbn_2003
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一般来说,用掠角X射线衍射可以得到薄膜样品的信息,但不同的入射角会不会影响X射线的探测深度?比如,要想探测薄膜内部500纳米附近的材料信息,用掠角X射线衍射入射角2度可不可以?
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rubyzsq
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掠入射角具体要多少合适,这要具体情况具体分析,我得仪器掠入射时在0.5到1度之间,膜厚的话,角度可以大一点,膜薄,角度要小一点,因为角度太大会采集到膜下面基底的信息。因此主要探测不到薄膜下面底材,2度也是可以的,而且角度能大就尽量大,这样强度就高。以上仅是个人理解。
ytlkw610
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能具体说说掠角衍射么?用什么仪器?怎么设置?谢谢!
lcbn_2003
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感谢二位的回复,这几天我看了丛丘滋编写的《多晶二维X射线衍射》,有所启发,基本已经有所理解了,x射线在材料内仍满足指数衰减规律,根据线吸收系数可以估算穿透深度。
rubyzsq
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原文由 ytlkw610 发表:
能具体说说掠角衍射么?用什么仪器?怎么设置?谢谢!

我也是刚刚接触XRD,掠射角衍射主要是用来研究薄膜材料的,只要仪器配置了薄膜附件就可以了,我的是帕纳科的仪器,配的有Hybrid 和collimator,就是产生和接受单色平行光。
可人
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如果我的薄膜厚度在1-100nm之间,角度该怎么选择啊?
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