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主题：【求助】高纯硅(4N以上)中杂质元素含量用什么方法测,国内什么地方可以测

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acacia2000
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发表于：2006/11/27 09:29:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如题,求方法及测试地点
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2006/11/27 9:36:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用icp可能是最好的选择，用HF挥发掉SI后，赶掉多余的HF，可直接定容检测
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steinbeck
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2006/12/8 23:15:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
北京的国家有色院/有色金属和电子材料检测中心可以做，我们在那里做过5个9的单晶硅，当时做了十来个元素。
ICP-MS应该可以做，看到过分析方法标准，消解方法就是HF挥发硅。
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