主题:【求助】安捷伦5975CMS能不关MS直接加机械泵泵油吗(二级泵送扩散泵,不是分子泵)?

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damoguyan
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安捷伦5975CMS能不关MS直接加机械泵泵油吗(二级泵送扩散泵,不是分子泵)?
机械泵早就有点漏油,但漏的慢,今天一看得加油了,能如上操作吗?
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zwq1973
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是机械泵漏油是吧,在实在没办法的时候注意安全情况下偶尔为之应该是可以的,我也这么干过,倒是没什么问题。但在安全的角度上来说还是关机后加。
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