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主题：【讨论】一台安捷伦6890N，进样口载气压力和FID的三路气体压力（流量）均为0， 不能达到设定值，加热可以。请问是什么可能的原因？

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安平
byron1111
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2018/2/27 14:24:25 21楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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zyl3367898
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2018/2/27 22:19:43 22楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是不是EPC出问题，无法控制压力。
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2018/2/28 21:10:33 23楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢各位，最后是换了EPC板子。
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2018/2/28 21:16:09 24楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zyl3367898(zyl3367898) 发表:
是不是EPC出问题，无法控制压力。
张老师，是EPC板子出故障。
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2018/2/28 21:17:27 25楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 安平(byron1111) 发表:
需要报修
报修后厂家工程师来检查后更换EPC板子。
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2018/2/28 21:19:00 26楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 dadgoh(dadgoh) 发表:
5V; ±15V;24V
谢谢!
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2018/2/28 23:08:15 27楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 symmacros(jimzhu) 发表: 谢谢!
四个EPC都坏了？
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手机版： 一台安捷伦6890N，进样口载气压力和FID的三路气体压力（流量）均为0， 不能达到设定值，加热可以。请问是什么可能的原因？
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