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主题：【求助】大家帮我看看ＳＥＭ图片有什么问题

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zxr1231981
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发表于：2007/01/13 10:32:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位大侠，我沉积的是金属钛膜，基体用的是不锈钢。在上面好象看不出什么膜的信息。请大家帮我分析一下。谢谢了。扫描图片在附件里
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2007/1/13 15:57:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
大家帮我分析一下啊，谢谢了。我毕业就靠它了，也分析不出来啊，急死人了。
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2007/1/15 15:18:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
附件里面不是病毒，请大家帮忙分析一下，上面的颗粒和白色的斑痕估计是什么东西？谢谢大家了。薄膜的厚度一个是54.3纳米，另一个是43.2纳米。请问，比较平整的是不锈钢基体的信息吗？颗粒是沉积上去的钛的颗粒吗？
我用的沉积方法是脉冲激光沉积，激光能量是300mJ，沉积时间是30分钟到60分钟。
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2007/1/15 15:18:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
附件里面不是病毒，请大家帮忙分析一下，上面的颗粒和白色的斑痕估计是什么东西？谢谢大家了。薄膜的厚度一个是54.3纳米，另一个是43.2纳米。请问，比较平整的是不锈钢基体的信息吗？颗粒是沉积上去的钛的颗粒吗？
我用的沉积方法是脉冲激光沉积，激光能量是300mJ，沉积时间是30分钟到60分钟。
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2007/1/15 15:19:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
附件里面不是病毒，请大家帮忙分析一下，上面的颗粒和白色的斑痕估计是什么东西？谢谢大家了。薄膜的厚度一个是54.3纳米，另一个是43.2纳米。请问，比较平整的是不锈钢基体的信息吗？颗粒是沉积上去的钛的颗粒吗？
我用的沉积方法是脉冲激光沉积，激光能量是300mJ，沉积时间是30分钟到60分钟。
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2007/1/15 15:20:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
附件里面不是病毒，请大家帮忙分析一下，上面的颗粒和白色的斑痕估计是什么东西？谢谢大家了。薄膜的厚度一个是54.3纳米，另一个是43.2纳米。请问，比较平整的是不锈钢基体的信息吗？颗粒是沉积上去的钛的颗粒吗？
我用的沉积方法是脉冲激光沉积，激光能量是300mJ，沉积时间是30分钟到60分钟。
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2007/1/15 15:21:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
附件里面不是病毒，请大家帮忙分析一下，上面的颗粒和白色的斑痕估计是什么东西？谢谢大家了。薄膜的厚度一个是54.3纳米，另一个是43.2纳米。请问，比较平整的是不锈钢基体的信息吗？颗粒是沉积上去的钛的颗粒吗？
我用的沉积方法是脉冲激光沉积，激光能量是300mJ，沉积时间是30分钟到60分钟。
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mjm0570
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2007/1/15 15:28:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没看董,帮顶,有知道的来解释一下
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zhengyunxing
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2007/1/20 20:08:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
论坛里那么多人，怎么一到具体问题就没有人顶了。原来都是会理论啊
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SPMonline
shan5233
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2007/1/21 18:31:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我注意到你用的电压为20kv，看看把电压降到15kv试试，或许会将衬度提高一点


原文由 zxr1231981 发表:
附件里面不是病毒，请大家帮忙分析一下，上面的颗粒和白色的斑痕估计是什么东西？谢谢大家了。薄膜的厚度一个是54.3纳米，另一个是43.2纳米。请问，比较平整的是不锈钢基体的信息吗？颗粒是沉积上去的钛的颗粒吗？
我用的沉积方法是脉冲激光沉积，激光能量是300mJ，沉积时间是30分钟到60分钟。
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zhquanming
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2007/1/21 22:41:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zxr1231981 发表:
各位大侠，我沉积的是金属钛膜，基体用的是不锈钢。在上面好象看不出什么膜的信息。请大家帮我分析一下。谢谢了。扫描图片在附件里
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我得sem也是日本电子系列。其实从你的图片中已经隐约可以看到镀膜得形貌，提供几点意见：一、提高加速电压至25或30KV，目的是提高分辨率；二、提高放大倍数，因为沉积Ti颗粒实际尺寸会很小，至少应在1万倍以上观察才可看到颗粒，5万和10万倍应该更合适，可以从低倍率到高倍率多试试；三、减小工作距离，我的5410LV可以最低到8mm，不知你的是否可以更小，工作距离越近分辨率越高；当然，观察过程应该尽量将仪器调整到最佳工作状态，譬如可以选用最小的孔径光栏，调整象散到最佳，最佳的对比度等。当然如果有精力的话可以在午夜进行，可以避免周围的电压波动、噪音、震动等对仪器的使用影响。我的仪器验收时厂家工程师在午夜拍出了金颗粒，分辨率为3.5nm，在使用过程中经过调整仪器至最佳状态，我也曾拍到实际沉积的Au颗粒形貌，非常清晰。Good luck！
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