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主题：【求助】ICP运行一段时间后自动熄火

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2019/6/12 8:36:10 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tome(tome) 发表:一般有液氩循环阀未打开，氩气压力下降，仪器自动熄火
用的是氩气，而且压力一直没有变过，早上换完新气后就直接点火，过后十分钟不到熄火。
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2019/6/12 8:36:51 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 杰8521(Insm_cf8fdfa0) 发表:是不是雾化室积水了，或者气体流量问题
都很正常
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2019/6/12 8:39:01 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tang566(tang566) 发表:排查气体的压力是满足要求、雾化室是否积水，循环水机的冷却水温度是否满足要求等。
气压一直没变过，雾化器拆下来查看无水，循环水全部重新更换，还是不行
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2019/6/12 8:39:29 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tiger204(v2926134) 发表:是每次点火一段时间后都这样么，还是仅出了一次？
每次点火过后
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tiger204
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2019/6/13 16:41:48 15楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 对方正在输入(v3199056) 发表:每次点火过后
除了以上说的还有可能是RF发生器出的问题，如果是这个问题就要工程师过来了。顺便问一句，你们的仪器用了多久了？
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检测小鸟
zhangjian7635
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2019/6/14 12:39:31 16楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
每次都调高RF功率，调到1.3Kw，点着后运行一段时间再调回1.2。
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2019/6/14 15:36:44 17楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tiger204(v2926134) 发表:除了以上说的还有可能是RF发生器出的问题，如果是这个问题就要工程师过来了。顺便问一句，你们的仪器用了多久了？
用了五年了，以前不知道啥情况，就是这次出现的问题
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2019/6/14 15:37:14 18楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 检测小鸟(zhangjian7635) 发表:每次都调高RF功率，调到1.3Kw，点着后运行一段时间再调回1.2。
好像没什么用，一样的熄火
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JOE HUI
xurunjiao5339
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2019/6/14 16:48:27 19楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 对方正在输入(v3199056) 发表:
好像没什么用，一样的熄火


有没有听到电容放电的异常响声等?你情况是能点着但是维持不了等离子体状态
需要进入仪器诊断界面判断下是否是RF功率管问题,参照以下步骤
1.  在仪器控制软件中选择仪器设置界面，输入维修密码，然后点击RF界面；
2、 取消自动刷新功能，在灯丝栏内打勾，再执行应用更改项，等待5秒后，检查软件有无报错；

3  软件没有报错，接着在HV栏内打勾，再执行应用更改项，等待5秒后，检查软件有无报错；
4、 软件没有报错，开始调节RF功率，从低到高，依次递增功率，0.2KW、0.5KW、1KW、1.5W，每更改一次功率时，都会执行应用更改项，并等待5秒，假如没有报错，再提高功率，直到提高到1.5KW，说也奇怪，到1.5KW都没有报错，接着就是降低功率，也是逐步降低；
5、 最后，再重新点火，点着了。
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次元之暗面
v3195919
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2019/6/15 11:56:36 20楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
直接联系工程师咨询报错号对应的故障原因，如果他没有办法解决的话，论坛里提到的方法试一遍不行只能上门了
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