主题:【分享】一次5975C分子泵风扇故障和更换。

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wangzhenhao
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周六日放假停电,周一开机发现真空抽不上,出现一抽就自动放空,MS报400风扇故障。八九不离十应该是分子泵那个冷却风扇坏了。上报领导,领导说随便找个换上去行不行,我说没必要吧这个单买就1000多一点。后来领导找来了一个参数都不一样的换上去,还真可以。但过了2个小时就自动放空,试了几次都不行。后来淘宝买了一个参数牌子一样的换上去就OK已运行4天。淘宝随便找的淘宝随便找的原装随便找的原装
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你们在哪里买的这个风扇?可否留个连接,买回来的那个电源插口能匹配吗?
wangzhenhao
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原文由 platinum(platinum) 发表:
你们在哪里买的这个风扇?可否留个连接,买回来的那个电源插口能匹配吗?
我们是叫公司电工买的市场上大把淘宝上也有电压匹配就可以了吧,用了一年没什么问题,当时电源插口确实不匹配,把原装的插头剪下来换上去的,注意不要接反不然风扇会反吹。
symmacros
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请问这个扩散泵一般开机后多长时间就可以用了?真空度稳定后是多少?
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2020/10/15 16:39:09 Last edit by jimzhu
wangzhenhao
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原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
请问这个扩散泵一般开机后多长时间就可以用了?真空度稳定后是多少?
只是换了一个风扇,有没有修泵,还是跟以前一样。
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原文由 wangzhenhao(wangzhenhao) 发表:
只是换了一个风扇,有没有修泵,还是跟以前一样。
我有一台5973,也是扩散板,一般需要2-4小时后才能用,真空能到20-30,开机一会就达到80一下。
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