主题:【求助】分子泵转速上不去

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Insm_1cdf4077
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真空电弧熔炼炉的分子泵转速上不去,一直在30000左右徘徊,达不到要求的36000,而且测真空的电离规也不亮了。有遇到这种情况的?求解决
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wccd1
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应该是电离管供电或本身出问题了,导致检测真空的值被定死,分子泵转速无法升高。
wangjunyu
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