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主题：【已应助】国产气相关于电子流量控制的手段能达到什么水平？

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huangwenwei
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发表于：2020/01/03 12:29:55 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
近两年，国产气相厂家在气体流量控制上面在向进口仪器靠近，采用EPC控制（或AFC或PPC或EFC）等手段。请问国产仪器中有哪些产品已达到此水平？各达到什么程度呢？
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junxi2008
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2020/1/3 12:42:01 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个需要质量流量传感器的分辨率很高，至少达到0.1mL，而且要求传感器的稳定性好，要不基线不稳。国内流量传感器郑州炜盛做的还可以，国外是霍尼韦尔的，不过价格要贵不少。
  有啥问题可以留言，大家一起探讨。
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