主题:【已应助】化学气相沉积 乙炔为气源时电离后的成分是什么啊?

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qyqydl
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我用化学气相沉积方法沉积非晶碳薄膜,不知道用乙炔为气源,在里面电离后形成的成分都是那些啊?离子?中性离子?原子团?
那位同学知道,帮帮忙啊!
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