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主题：【已应助】调谐通不过原因

浏览0 回复14 电梯直达
pb123123
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发表于：2020/03/25 11:01:25 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
从过年回来后，GCMS开机调谐一直过不了，从数据看也知道应该是进了空气，更换了：气体、隔垫等，就是过不了，求解？
附件：
调谐通不过.docx
推荐答案：tang566回复于2020/03/25
氮氧比4:1，漏气，查检测下各接口、传输线、侧板的密封处，放空阀是否拧紧。如果都无问题，有可能是载气捕集阱失效。
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通标小菜鸟
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2020/3/25 11:11:59 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你调谐的时候真空度抽到了多少，至少要10-5torr才能进行调谐，还有检查放空阀以及真空腔密封圈是否紧密
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tang566
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2020/3/25 11:50:29 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
确认载气过滤器是否需要更换？换一瓶氦气试试。
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JOE HUI
xurunjiao5339
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2020/3/25 12:03:24 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
进了空气，请上调谐报告分析下
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m3123583
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2020/3/25 12:35:59 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
首先什么配置具体的，其次做了什么操作。
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检测老菜鸟
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2020/3/25 13:15:03 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
漏气？                   
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pb123123
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2020/3/25 13:46:09 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tang566(tang566) 发表:
确认载气过滤器是否需要更换？换一瓶氦气试试。
刚新更换的一瓶气体。
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sdlzkw007
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2020/3/25 15:06:51 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 pb123123(pb123123) 发表: 刚新更换的一瓶气体。
气体更换需要关注一下捕集阱是否失效，管道内气体是否置换彻底。
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tang566
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2020/3/25 15:07:26 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
氮氧比4:1，漏气，查检测下各接口、传输线、侧板的密封处，放空阀是否拧紧。如果都无问题，有可能是载气捕集阱失效。
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2020/3/30 8:04:58 Last edit by tang566
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wulin321
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2020/3/26 11:47:28 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
后面进气口放一下氮气，然后在试一下，如果不行，那就是载气捕集阱，看看是不是已经要更换了。
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xiaoxiao523
xiaoxiao523
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2020/3/26 13:21:18 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
其他都更换了，把总流量和尾吹流量开大吹五分钟，或者你的捕集阱是不是该更换了
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