主题:【已应助】安捷伦7900量测P元素含量

浏览0 回复28 电梯直达
光哥
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原文由 fltt(fltt) 发表:
你只是简单知道 推荐串接,但你不知道楼主只有一台7900
然而串接才是终极解决之道
fltt
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原文由 timstoICPMS(timstoICPMS) 发表:
现有 7900s 是无法满足你的需求了。你看看这篇,8800/8900s
你只是简单知道 推荐串接,但你不知道楼主只有一台7900
timstoicpms
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timstoicpms
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原文由 fltt(fltt) 发表:
可以试一下HEHe模式测31P
你只是简单知道 有高能He模式,但你不知道楼主的应用领域是 半导体级高纯测试。
fltt
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光哥
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原文由 Insm_fda1fab5(Insm_fda1fab5) 发表: 您提醒我了,因为我是量测晶圆表面的P元素,即使把PO的线性拉出来了,但是在测片子的时候,SiF这个干扰会存在,所以He还是有必要通的另外,目前我手里没有单标的P标准品,而是那种多元素的,那么我使用此标准品调谐,如果只监控PO47这个质量数,其他元素的存在会不会对机台造成影响?
没有Si就行,我忘了冷焰下还有另一个更大的干扰源SiOH。装机的时候工程师没告诉你47要同时监控45的感度?
Insm_fda1fab5
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原文由 光哥(xsh1234567) 发表:
有SiF=47。这个元素以前我做得也不少。
要么试试提高功率到800/900w同时通He,要么换成8900s,要不然最低点50ppt,单杆很难搞。
  另外冷焰同时通氦气,你先试试,不一定是你想的没有感度了。建议专门针对47PO做一个调谐文件,手动调各个透镜参数,调的时候配个P单标,看P单标和DIW,让47PO和DIW中47达到最高信噪比。测试的时候单独调用这个调谐条件做P


您提醒我了,因为我是量测晶圆表面的P元素,即使把PO的线性拉出来了,但是在测片子的时候,SiF这个干扰会存在,所以He还是有必要通的

另外,目前我手里没有单标的P标准品,而是那种多元素的,那么我使用此标准品调谐,如果只监控PO47这个质量数,其他元素的存在会不会对机台造成影响?
光哥
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原文由 Insm_fda1fab5(Insm_fda1fab5) 发表: 没钱啊。。。
发出了令人难以置信的声音:最近FAB厂都在涨价,汽车行业甚至因为无芯可用导致停产了
光哥
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原文由 Insm_fda1fab5(Insm_fda1fab5) 发表: 您说的是冷模式下测PO,还是测P?这个方法我可以试试看,感谢!
还是47PO,只是功率加大同时通He
Insm_fda1fab5
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