一、问题的提出

真空计作为一种真空度传感器在众多领域应用普遍，并需要进行定期校准。而真空计校准装置是包含了真空标准器、真空泵、真空阀门及连接管路在内的一整套测量系统，一般体积较大，不便移动，多在实验室内固定使用。现有的真空计校准方式大多是将现场使用的真空计拆下送检。为满足现场校准的需求，需要解决以下几方面的问题：

（1）减小相关部件的尺寸，使真空计校准装置便于携带。

（2）采用数控和电动阀门，提高气体流量调节的精密度。

（3）改进真空度控制方式，提高真空度控制精度和稳定性。

为实现真空计现场校准和校准装置的便携性，基于静态比对法校准技术，本文将提出采用微型数字针阀和上下游双向气体流量调控模式的技术方案，结合高精度的真空度PID控制器，可在真空度精密控制的前提下解决现场校准和便携性问题，真空度的波动可控制在±1%以内。

二、便携式真空计校准装置技术方案

便携式真空计校准装置的整个结构如图1所示，这里示出的是0.1~760Torr真空度范围内的校准装置典型结构示意图。方案具体内容如下：

真空计校准

图1 便携式真空计校准装置结构示意图

（1）采用静态比对法，将被校准真空计与参考标准真空计比对。参考标准真空计采用两个电容薄膜真空计以覆盖整个真空度校准范围，参考标准真空计也同时作为真空度控制传感器。

（2）真空度控制器采用二通道高精度真空度控制器，控制器的A/D为24位，D/A为16为，可对应电容薄膜真空计的高精度信号输出和满足真空度控制精度要求。控制器的两个通道分别对应于两个真空计的输入信号、两路数字针阀的进气和抽气流量的精密调节。在真空度控制过程中两路传感器信号可根据需要自动切换，以实现全量程范围内的可编程自动控制。控制器带PID自整定功能和标准的MODBUS通讯协议。

（3）采用两个数字针阀分别调节进气和抽气流量，控制器采用双向模式分别对两个针阀进行调节。在粗真空范围内主调节进气针阀，在高真空范围内主调节进气针阀，全量程范围内的真空度恒定控制时，真空度波动率可控制在±1%以内。

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附件：

数字针阀在便携式真空计校准装置中的应用.pdf

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刘彦刚

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2022/5/27 5:11:19 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

学习该文受益匪浅。人们对英特网这个名字，现在可以用亲切来形容都不为过，对物联网这名字也不那么陌生了。但对于如何搭建物网联网相对地更不那么了解，而该文中就包括构成网联网两样关键的元器件中的各一个代表，我们先来指在文中知名度不那么高的一个，那就是电容真空计，它将这里的该小真空系统的真空度，转换成了英特网能认识的数字信号，在物联网中它是获取数据的元器件。当然它在这里没有去搭建物联网，而只是一个便携式真空计校准装置的一个小系统。而一个关键的元器件就是文中大名鼎鼎的数控针阀，它是得到了英特网给它的数据信号，根据其要求控制针阀的开度大小，在英特网中被称为数控执行元器件。
当有了众多的各种各样的获取数据的元器件和数控执行元器件，与英特网有机地组织起来构成的很大很大的系统就是物网了哦！

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