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主题：【已应助】安捷伦5973扩散泵加热器会自动关闭

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lijing320323
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2022/7/15 23:57:12 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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Insm_89b41df3
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2022/7/16 9:02:56 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 symmacros(jimzhu) 发表:有可能是硬件故障，不过请问扩散泵油多长时间换过？泵的温度怎样？有无过热？注意，小心烫伤。
泵油最近一个月换过，昨天抽真空的时候我摸过，泵不烫
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安平
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2022/7/16 9:11:32 13楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Insm_89b41df3(Insm_89b41df3) 发表:问过安捷伦的工程师，说是扩散泵坏了，让换泵。问过做售后的朋友，说是漏气。现在不能确定原因，换泵要5万。
建议报修为好。


扩散泵，麻烦一点。。注意安全。

原理性的真空度较差，万一有意外，损失不仅仅是泵。
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安平
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2022/7/16 9:12:20 14楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Insm_89b41df3(Insm_89b41df3) 发表:泵油最近一个月换过，昨天抽真空的时候我摸过，泵不烫
前级的机械泵油还是扩散泵的油？

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symmacros
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2022/7/17 10:04:59 15楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
扩散泵正常运转时候，会很热，很烫，温度达不到也是有故障，加热问题。
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Insm_89b41df3
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2022/7/19 12:03:58 16楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 安平(byron1111) 发表:前级的机械泵油还是扩散泵的油？
前级机械泵
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Insm_89b41df3
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2022/7/19 12:05:13 17楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 symmacros(jimzhu) 发表:扩散泵正常运转时候，会很热，很烫，温度达不到也是有故障，加热问题。
扩散泵能正常加热，但是一段时间后会停止加热，然后降温到80多度，重新抽真空后又正常了，如此重复
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Ins_d013b682
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2022/12/29 17:55:07 18楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
扩散泵上面的温控开关有问题吧，温度到了但是温控开关没有跳，导致扩散泵停止加热，量一下温控开关通断吧
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