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图1 常规CMP系统中电气比例阀压力控制装置结构示意图
图2 串级控制法CMP系统压力控制装置结构示意图
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原文由 上海依阳(m3221506) 发表:精度、体积和成本总是矛盾的,精度越高,体积一般越大,造价也越高。此方案的比例阀和控制器,要比安捷伦的比例阀和传感器精度高了太多,也比安捷伦的比例阀体积和成本高。比例阀将近50mm×50mm×60mm尺寸,超高精度控制器尺寸是96mm×96mm×87mm。我还发现一个问题,就是搞分析仪器的与搞工控这方面的交流很少,对于很多问题存在较大的分歧。比如精度方面,楼主认为安捷伦的精度不够高,但是实际上安捷伦控制十几KPa压力的情况下也能很容易的做到0.1%的稳定性和重现性,也就是说标称的控制精度0.01KPa是没有吹牛的。而工控仪表领域的人说精度往往是指准确度。再比如测量温度的铂电阻,搞测温仪表的人总是会强调必须使用四线铂电阻,否则不可能达到0.1度的精度。但实际上即使最好的色谱仪也是使用二线铂电阻,因为在色谱里面重要的是温度的稳定性而不是准确度。
原文由 xx_dxd_xx(xx_dxd_xx) 发表:是。你说的这是两拨人,一波是从事计量校准的人,另一波是从事工程技术的。但东西都是工程技术搞出来的,像安捷伦本身就生产各种精度等级的测温、电压电流测量仪表,各种计量机构也都在用。如果搞计量的人不站出来说点意见,那他们就更没存在感了。两拨人的出发点和目的,完全不一样的。
我还发现一个问题,就是搞分析仪器的与搞工控这方面的交流很少,对于很多问题存在较大的分歧。比如精度方面,楼主认为安捷伦的精度不够高,但是实际上安捷伦控制十几KPa压力的情况下也能很容易的做到0.1%的稳定性和重现性,也就是说标称的控制精度0.01KPa是没有吹牛的。而工控仪表领域的人说精度往往是指准确度。再比如测量温度的铂电阻,搞测温仪表的人总是会强调必须使用四线铂电阻,否则不可能达到0.1度的精度。但实际上即使最好的色谱仪也是使用二线铂电阻,因为在色谱里面重要的是温度的稳定性而不是准确度。