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主题：【分享】涡轮分子泵运转时需要注意的问题2

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lijing320323
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发表于：2022/09/16 20:45:46 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
2、压缩比

　　涡轮分子泵的压缩比是指前级管道（排气口处）的压力与进气口处的压力之比。由于被抽气体的分子量不同，泵对各种气体的压缩比也不同。泵对氢的压缩比很小，一般为1000 左右，这样一来如果前级管道中氢的压力为1×10- 7Torr（13.33 μPa），那么进气口处氢的压力则小1000倍，即为1×10- 10 Torr（13.33 nPa），由于氢是超高真空系统中主要的残余气体，所以氢的压缩比是决定涡轮分子泵的极限压力的关键因素。

?

　　涡轮分子泵对于大分子量的气体，如对那些碳氢化合物分子的压缩比是相当大的，一般高于1012。这个比值根据不同泵，以及不同分子量而不同，由于前级泵的不同和其它因素，涡轮分子泵的前级管道中的碳氢化合物的分压力在10- 4 Torr（13.33 mPa）～10- 6 Torr（133.3 μPa）之间，在这种条件下，在泵的入口处碳氢化合物的分压力将低了1012 倍，即为10- 16 Torr（13.33 fPa）或更低。这样几乎是无限小的压力，已超出了可测量的范围，即使最灵敏的质谱仪也难以测出。

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