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主题：【分享】涡轮分子泵运转时需要注意的问题4

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lijing320323
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发表于：2022/09/18 21:43:30 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
(2)延迟充气

　　虽然在泵断开电源后就应给泵充气已被大家所接受，且很平常，但是，涡轮分子泵在切断电源后，泵要渐渐地减速，若延迟几秒或几分钟再充气会更好一些。在泵减速到它平时速度的30%～50%期间，此时泵仍能起到抽气和压缩作用。能有效地使真空室处在真空状态下且能防止碳氢化合物的返流。延迟充气也能使阀门有足够的时间关闭，在经常停电的情况下，延迟充气是很有用的。为了延迟充气， 前级真空必须维持在1 ～1000 μmHg （1 ×10- 3 mmHg ~1 mmHg 或133.3 mPa～133.3 Pa）范围之内，所以在涡轮分子泵与前级泵之间必须有一个真空阀，或者在前级泵内部装一个控制阀，该阀应在电源中断时，使涡轮分子泵与前级泵隔离开来。否则，通过前级泵、前级管道被充气，并导致了油的污染。
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