主题:【分享】涡轮分子泵运转时需要注意的问题4

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lijing320323
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(2)延迟充气

  虽然在泵断开电源后就应给泵充气已被大家所接受,且很平常,但是,涡轮分子泵在切断电源后,泵要渐渐地减速,若延迟几秒或几分钟再充气会更好一些。在泵减速到它平时速度的30%~50%期间,此时泵仍能起到抽气和压缩作用。能有效地使真空室处在真空状态下且能防止碳氢化合物的返流。延迟充气也能使阀门有足够的时间关闭,在经常停电的情况下,延迟充气是很有用的。为了延迟充气, 前级真空必须维持在1 ~1000 μmHg (1 ×10- 3 mmHg ~1 mmHg 或133.3 mPa~133.3 Pa)范围之内,所以在涡轮分子泵与前级泵之间必须有一个真空阀,或者在前级泵内部装一个控制阀,该阀应在电源中断时,使涡轮分子泵与前级泵隔离开来。否则,通过前级泵、前级管道被充气,并导致了油的污染。
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