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主题：【原创】安捷伦ICP OES 5110点火故障

浏览0 回复5 电梯直达
Ins_2e420672
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发表于：2022/10/10 22:55:46 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最近一直出现这个故障，求大神解答。
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次元之暗面
v3195919
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2022/10/11 12:48:21 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
氩气不纯，炬室进水，吹气流速过大导致等离子体点燃瞬间不能维持。最后就是上面所说的，rf相关部件故障
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p3070378
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2022/10/12 23:06:49 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
rf电源坏了
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Insm_8af787b0
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2022/10/13 10:39:13 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
补充：1可能氩气纯度不够，更换氩气2系统气密性问题，检查下进样系统
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瞬间
v2680637
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2023/8/29 0:00:17 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
rf坏了 同样的问题
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jnmc-74010
Insm_03683e21
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2023/10/9 11:10:06 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
安捷伦确实点火问题很恼火，我们的5100最头疼点火问题。
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