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主题：【讨论】半导体材料检测用超净间应满足哪些标准

浏览0 回复3 电梯直达
fzg240
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发表于：2007/04/23 16:58:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
半导体材料检测用超净间在洁净度、温度湿度、振动方面都有严格要求，但不知道在哪可以找到相关标准？
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2007/7/26 10:08:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊


我们现在也十分需要啊
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青林
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2010/11/28 21:37:15 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
超净间要达到千级、万级的标准需要对给风、过虑、排风的环节进行仔细的设计。它的日常维护都是非常重要的。维持一个洁净的环境，才能保证半导体材料生长和器件加工的所有过程不会让灰尘影响到实验的最后结果。
　　 在超净间最右边的小间里，我们看到了很多钢瓶。这些钢瓶里面装着为外面的沉积设备和干法刻蚀设备提供的气体，比如氩气、硅烷、氨气、氯气和氧气等。这些气体有些是用来进行材料薄膜的沉积的、有些是进行刻蚀的。
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小虾米
wuxia330
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2011/1/2 21:20:35 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
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