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主题：【已应助】多晶硅检测怎么赶硅

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发表于：2023/08/13 15:40:51 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
做多晶硅检测，按照国标方法使用硝酸：氢氟酸（1：2）溶解多晶硅，在160℃电热板上加热蒸干赶硅，多次加酸后赶硅，硅还是有残留，请问怎么解决能将硅赶完。
推荐答案：光哥回复于2023/08/14
加点儿硫酸，180度就可以
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光哥
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2023/8/14 0:44:07 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
加点儿硫酸，180度就可以
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2023/8/25 18:01:18 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 光哥(xsh1234567) 发表:加点儿硫酸，180度就可以
你好，请问加硫酸为什么会增加硅的驱赶效率。
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光哥
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2023/8/27 23:56:44 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Ins_7511474f(Ins_7511474f) 发表:
你好，请问加硫酸为什么会增加硅的驱赶效率。
  提高液体的温度，之前做的时候，PFA材质的烧杯，180度可以，不会变形。而且加了一点点硫酸，也监测过Si，浓度值很低
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2023/9/21 16:03:35 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 光哥(xsh1234567) 发表:
  提高液体的温度，之前做的时候，PFA材质的烧杯，180度可以，不会变形。而且加了一点点硫酸，也监测过Si，浓度值很低
请问加多少体积，浓度的硫酸，我加了1ml180度无法蒸干
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光哥
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2023/9/21 22:06:29 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 Insm_e541a11f(Insm_e541a11f) 发表:
请问加多少体积，浓度的硫酸，我加了1ml180度无法蒸干
180度本来就蒸不干的，只需要恨少，100微升左右就足够了。

最后剩下的是一滴  清亮  的“硫酸”溶液，然后稀释上机

完全按照国标方法，个人认为是弄不干净硅的
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2023/9/21 22:07:23 Last edit by xsh1234567
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