实战宝典 原创大赛 仪器问答 仪友会 总帖：8028230今日发帖：9 我的社区 签到
快速导航 采购仪器 提醒
透射电镜（TEM）
版主:
入住本版
专家:
居民列表

主题：【已应助】TEM制样，离子减薄仪与FIB减薄到底有啥区别

浏览0 回复1 电梯直达
Ins_ca49a35e
头像
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
发表于：2024/01/25 17:00:49 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
求助，求助，求助
推荐答案：123回复于2024/01/26
离子减薄
基本原理：

离子减薄的工作原理是：利用高压对氩气进行电离，电离后的氩离子在电场作用下，轰击样品表面，样品在氩离子的不断轰击下逐渐减薄，直至满足透射电镜观察要求。

?
科学指南针-离子减薄法制样示意图

离子减薄是物理方法减薄，它采用离子束将试样表层材料层层剥去，最终使试样减薄到电子束可以通过的厚度。下图是离子减薄装置示意图。试样放置于高真空样品室中，离子束（通常是高纯氩）从两侧在3-5KV加速电压加速下轰击试样表面，样品表面相对离子束成0-30o角的夹角。

离子减薄仪是目前比较先进的一款仪器，而且具备十分很优秀的灵活性，整体结构上，可以展现出轻薄、干净、简约的优点，而且对样本的制作也有自己的一套方式，可以帮助样本更易被研究。离子减薄的效率较低，一般情况下4μm/小时左右。但是离子减薄的质量高薄区大。可适用于矿物、陶瓷、半导体及多相合金等电解抛光所不能减薄的场合。

?
科学指南针

FIB
聚焦离子束原理：

聚焦离子束(Focused lon beam，FIB)的系统是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器，目前商用系统的离子束为液相金属离子源(Liquid Metal lonSource，LMIS),金属材质为镓(Gallium，Ga),因为镓元素具有低熔点、低蒸气压、及良好的抗氧化力；

典型的离子東显微镜包括液相金属离子源、电透镜、扫描电极、二次粒子侦测器、5-6轴向移动的试片基座、真空系统、抗振动和磁场的装置、电子控制面板、和计算机等硬设备，外加电场于液相金属离子源，可使液态镓形成细小尖端，再加上负电场(Extractor)牵引尖端的镓，而导出镓离子束，在一般工作电压下，尖端电流密度约为1埃10-8 Amp/cm2，以电透镜聚焦，经过一连串变化孔径(Automatic Variable Aperture，AVA)可决定离子束的大小，再经过二次聚焦至试片表面，利用物理碰撞来达到切割之目的。
为您推荐
近期热榜
热门活动
专属顾问快速对接
获取验证码
立即提交
相关阅读
123
m3149125
结帖率：
100%
关注：0 |粉丝：0
新手级： 新兵
2024/1/26 10:05:14 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
离子减薄
基本原理：

离子减薄的工作原理是：利用高压对氩气进行电离，电离后的氩离子在电场作用下，轰击样品表面，样品在氩离子的不断轰击下逐渐减薄，直至满足透射电镜观察要求。

?
科学指南针-离子减薄法制样示意图

离子减薄是物理方法减薄，它采用离子束将试样表层材料层层剥去，最终使试样减薄到电子束可以通过的厚度。下图是离子减薄装置示意图。试样放置于高真空样品室中，离子束（通常是高纯氩）从两侧在3-5KV加速电压加速下轰击试样表面，样品表面相对离子束成0-30o角的夹角。

离子减薄仪是目前比较先进的一款仪器，而且具备十分很优秀的灵活性，整体结构上，可以展现出轻薄、干净、简约的优点，而且对样本的制作也有自己的一套方式，可以帮助样本更易被研究。离子减薄的效率较低，一般情况下4μm/小时左右。但是离子减薄的质量高薄区大。可适用于矿物、陶瓷、半导体及多相合金等电解抛光所不能减薄的场合。

?
科学指南针

FIB
聚焦离子束原理：

聚焦离子束(Focused lon beam，FIB)的系统是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器，目前商用系统的离子束为液相金属离子源(Liquid Metal lonSource，LMIS),金属材质为镓(Gallium，Ga),因为镓元素具有低熔点、低蒸气压、及良好的抗氧化力；

典型的离子東显微镜包括液相金属离子源、电透镜、扫描电极、二次粒子侦测器、5-6轴向移动的试片基座、真空系统、抗振动和磁场的装置、电子控制面板、和计算机等硬设备，外加电场于液相金属离子源，可使液态镓形成细小尖端，再加上负电场(Extractor)牵引尖端的镓，而导出镓离子束，在一般工作电压下，尖端电流密度约为1埃10-8 Amp/cm2，以电透镜聚焦，经过一连串变化孔径(Automatic Variable Aperture，AVA)可决定离子束的大小，再经过二次聚焦至试片表面，利用物理碰撞来达到切割之目的。
赞贴
0
收藏
0
拍砖
0
举报
猜你喜欢 最新推荐 热门推荐
头像
高级回复 发表评论
品牌合作伙伴
岛津
日立科学仪器
珀金埃尔默仪器（上海）有限公司（PerkinElmer）
日本电子株式会社
丹纳赫
安捷伦
赛默飞世尔科技
普析通用
欧波同
天美
天瑞仪器
德国耶拿
海能技术
马尔文帕纳科
磐诺科技
上海仪电科仪
梅特勒托利多
聚光科技
莱伯泰科
盛瀚
多宁生物
丹东百特
科哲
卓立汉光
屹尧科技
华谱科仪
宝德仪器
优莱博
HORIBA
布鲁克核磁