主题:【求助】在基片上镀膜或生长的薄膜该如何制成TEM试样而不使其受到破坏?

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xcf_xu
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hinicalon
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如果不关心镀层和基底的结合界面,而且膜镀完后可以取下来的话,制样相对简单,冲个3mm的片,然后减薄,减薄的成功率也较高,有薄区即可观察。
否则的话,一般需要作横向的包埋,然后机械磨,手工磨,冲片,凹坑,减薄..相对麻烦一些,而且由于减薄位置要求相对严格,有失败率。
outstanding
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普通的冲片-凹坑-减薄方法成功率是非常低的,基本上不可能。我是用磁控溅射做薄膜的。建议你可以采用NaCl做基底,可能耐到600度以上。在用水容调基板。用铜网捞起薄膜,也可以减薄。希望能解决你的困难
sun-guo
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原文由 outstanding 发表:
普通的冲片-凹坑-减薄方法成功率是非常低的,基本上不可能。我是用磁控溅射做薄膜的。建议你可以采用NaCl做基底,可能耐到600度以上。在用水容调基板。用铜网捞起薄膜,也可以减薄。希望能解决你的困难



截面样品的制备只是需要高超的技巧和耐心而已,经过训练,成功率还是可以保障的,没有“基本上不可能”一说。另外,如果条件允许的话,也可以用FIB制备薄膜样品
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