早就对共聚焦在立体材料测量方面的准确性提出疑义, 故一再希望大家能在此方面进行探讨,
原因之一, 为什么Leica早在20世纪就有材料共聚焦后又退出, Zeiss也迟迟未下手, 而二流的O记率先切入?
原因之二, 材料的特定问题是常规光学目前无法解决的, 大家跃跃欲试的吃蟹心态证明了这正是一崭新领域, 与其说应用不如说尝试, 而这一点被商业化忽视了
显微镜功用主要在观察, 材料方面的特殊点在于它纲量的准确传递. 即测量准确性. 所以用于测量的材料显微镜理应纳入计量名录. 而我的是否计量的询问又有谁自信地回复呢?
TOPO应该类似于逻辑方法, 有多种TOPO的存在, 可实际尺寸只有一个, 测量会有多个结果. 误差自然在, 只是多少问题, 是否在允许精度范围内. 不同测量方法决定采用何种TOPO方法比较合适.
个人认为, 定向照射光源才能提供较准确结果. 现高倍物镜下光的方向随物镜与样品之间距离的变化而变化, 并非最佳, 而三种topo方法最大能量法比较准确. 具体可能还要结合光路分析.
题外话, 谁对MEMS器件有认识, 不妨提出科普一下, 对它的线性, 迟滞, 寿命, 工作范围等?这种器件正被用在某个品牌的共聚焦的X轴方向上.
谁对Peizo器件有认识, 不妨提出科普一下, 对它的线性, 迟滞, 寿命, 工作范围等?这种器件正被用在多个品牌的共聚焦的多轴方向上.