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透射电镜（TEM）
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主题：【讨论】请问投射电镜上带的edx附件是不是比扫描电镜上聚焦更好

浏览0 回复2 电梯直达
jvhewu
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发表于：2007/07/11 22:12:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位大虾,请问有没有能聚焦到30nm内的edx?
请问透射电镜上的加速电压比扫描电镜高,其带的edx附件是不是比扫描电镜上聚焦更好?
谢谢!
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2007/7/13 19:48:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 jvhewu 发表:
各位大虾,请问有没有能聚焦到30nm内的edx?
请问透射电镜上的加速电压比扫描电镜高,其带的edx附件是不是比扫描电镜上聚焦更好?
谢谢!

透射电镜的EDS模式下束斑可以会聚到1nm，30nm就更不在话下了！
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imrwb
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2007/7/18 8:10:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 jvhewu 发表:
各位大虾,请问有没有能聚焦到30nm内的edx?
请问透射电镜上的加速电压比扫描电镜高,其带的edx附件是不是比扫描电镜上聚焦更好?
谢谢!

哥们，你的问题有点问题，其实你要说的能谱所能分析的最小区域，与TEM或SEM的空间分辨率有关，我们通常不去太多考虑其它因素，只考虑束斑到达样品上的尺度。
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