主题:【讨论】请问投射电镜上带的edx附件是不是比扫描电镜上聚焦更好

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jvhewu
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各位大虾,请问有没有能聚焦到30nm内的edx?
请问透射电镜上的加速电压比扫描电镜高,其带的edx附件是不是比扫描电镜上聚焦更好?
谢谢!
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怪味陈皮
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原文由 jvhewu 发表:
各位大虾,请问有没有能聚焦到30nm内的edx?
请问透射电镜上的加速电压比扫描电镜高,其带的edx附件是不是比扫描电镜上聚焦更好?
谢谢!

透射电镜的EDS模式下束斑可以会聚到1nm,30nm就更不在话下了!
imrwb
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原文由 jvhewu 发表:
各位大虾,请问有没有能聚焦到30nm内的edx?
请问透射电镜上的加速电压比扫描电镜高,其带的edx附件是不是比扫描电镜上聚焦更好?
谢谢!

哥们,你的问题有点问题,其实你要说的能谱所能分析的最小区域,与TEM或SEM的空间分辨率有关,我们通常不去太多考虑其它因素,只考虑束斑到达样品上的尺度。
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