主题:【求助】请教MBE气体部件针阀问题

浏览0 回复2 电梯直达
stdp99
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我们实验室的针阀主要是用于气体等离子源,但最近针阀不能很好地控制气体流量,而且做实验时老是等离子体自动关掉,那位有碰到这样的问题吗?
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