主题:【求助】多晶硅的纯度怎么测,使用什么仪器

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原文由 xsh1234567 发表:
原文由 风之灵 发表:
多晶硅生产厂家一般配置的仪器:

气相、红外、ICP-OES、ICP-MS

ICP-OES:主要用于测试原料及过程控制。
ICP-MS:用于成品检测。

国内现在上马建设的多晶硅厂家很多,基本上都是这种配置。


错啦,这样的配置只有西门子法的才用得着得。而且,实际上,FT-IR并不适合多晶硅。

FT-IR是用来测多晶硅中氧碳含量的,我们做多晶硅挺多的~~~~~~~~~~~
qianguzhiyin
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多晶硅生产厂家一般配置的仪器:

气相、红外、ICP-OES、ICP-MS

ICP-OES:主要用于测试原料及过程控制。
ICP-MS:用于成品检测。

国内现在上马建设的多晶硅厂家很多,基本上都是这种配置。


错啦,这样的配置只有西门子法的才用得着得。而且,实际上,FT-IR并不适合多晶硅。



气相是测试什么指标的啊?红外是不是测碳氧含量之类的?
羽香
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6815867
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我们公司是用改良西门子法生产多晶硅的,马上要配置仪器进行硅棒成品及生产过程中的重金属检测,我也不太清楚用什么仪器呀
枪手怪蜀黍
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我们公司是用改良西门子法生产多晶硅的,马上要配置仪器进行硅棒成品及生产过程中的重金属检测,我也不太清楚用什么仪器呀

ICP-MS或者GD-MS
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