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主题：【求助】求助关于FTPL和FTIR测硅中的硼磷

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magicsoft
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发表于：2007/09/07 09:45:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
ASTM标准里面关于测量超纯硅中硼磷含量，采用FTPL和FTIR方法，可以达到若干PPT的检测限。
以前总觉得FTIR的检测限不是太高，很困惑啊。
哪位大侠可以详细介绍一下FTPL和FTIR如何测硅中的硼磷？具体采用什么仪器？
谢谢！！！
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2007/9/11 13:41:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你们是做什么行业的？为什么也要测硅片中的硼、磷？
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2007/9/11 13:44:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果是同行业的话可以和我联系一下，我目前也负责一个用低温红外测单晶硅片中B、P的项目，大家可以一起交流一下，目前这个项目过来做的比较少，在一些网站和文献上也很难找到类似的资料。
我的QQ：187364578
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stcaptain
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2008/7/29 11:19:40 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我也很需要这方面的资料啊
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2008/8/28 10:38:51 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
急需此类资料啊
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2008/10/20 14:06:48 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
需要低温装置。
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