应该使用专门的露点仪进行测量。并且必须是密封和在线的。
但是,基于微量水分氧化物探头的肖氏露点仪(SHAW-England)(包括Visala,Michell, Alpha等类似产品)不能测定SO2, SO3和Cl的水分,这两类气体使得探头失去活性,SHAW露点探头厂家声称寿命可达20年,但是一遇到上述气体,立刻灰飞烟灭(不是物质上的,而是功能上的)。
高腐蚀性气体(或者预遇到水和空气变成高腐蚀性的和有一定危险性的成分(光气)的水分测试一直是一个难题,目前在线是采用绝对露点测定仪,即冷却镜面露点仪,也是露点标定的专业仪器,商品化仪器不多