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主题：【FAQ】关于分子泵的维护

浏览0 回复24 电梯直达
cz_sem
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发表于：2004/05/27 14:03:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
该帖子已被shxie设置为精华；
    我的扫描电镜经常在开机抽真空或使用过程中分子泵的高压保险丝断丝，原因可能是电源不稳定（供应商说，我们还有UPS）或分子泵中有外物掉入，我用电镜也有4、5年头了，第二种可能性居多，但我自己从未拆过分子泵，也从未见过供应商拆过分子泵，请问谁有拆过分子泵的经验，能否将具体的细节告之，我知道各仪器不同会有所区别，我只要参考下，以及特别需要注意的环节。
    希望有人能给予帮助！

    谢谢！

    cz_sem@sohu.com
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2004/5/28 12:33:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
到你在仪器网上有关分子泵的问题，很简单。请和北京意力博通技术发展有限公司的郭先生联系，他有20年扫描电镜技术服务的经验。电话：13301037272。
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cz_sem
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2004/6/23 14:39:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
据说是真空继电器坏了
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RENXIN
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2004/7/23 4:00:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我拆過EDWARDS的和VIRIAN的增壓分子泵，用过德國ZEISS電鏡，原英國LEO電鏡和LEICA電鏡也有四年了。
聽您的解釋﹐我感覺是真空管路的泄漏﹐不像是分子泵本身有問題。
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2004/7/23 9:33:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
千万不要自己拆分子涡轮泵，有多少年经验都不能拆，分子涡轮泵需要调节动平衡的，我认识的一个人就自己动手，结果开机以后把分子涡轮泵打的稀八烂。强烈注意。
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RENXIN
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2004/7/23 15:10:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
感謝您的警告

增壓分子泵只有兩種工作狀態
1﹐工作正常
2﹐根本不工作

如是第二種情況﹐原因可能有兩個
1﹐分子泵本身有問題﹐需更換分子泵
2﹐分子泵控制器有問題﹐需更換
這個控制器很容易鑒別﹐電纜的一端連接在泵底部﹐另一端就連接到控制器

另CZ-SEM朋友﹐您懷疑的兩種原因都會直接導致分子泵的第二中工作狀態﹐我仍然懷疑是真空管路泄漏
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2004/7/24 21:18:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分子涡轮泵一般都是换，没有在现场修的。
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weifenxi
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2004/7/27 8:35:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你测一下电镜的低真空度就可判断出分子泵系统的工作环境，协助你判断故障原因。
北京意力博通技术发展有限公司 

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Last edit by weifenxi
sshlxf
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2004/8/6 15:35:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
哎 所以说一般钨灯丝扫描电镜还是不要用分子泵的好,机械泵+扩散泵也够了.
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RENXIN
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2004/8/6 22:25:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
樓上這位朋友﹐有沒有搞錯﹐熱油扩散泵是25年前的產品﹐現在淘汰還來不及呢﹐您還要他鹹魚翻身。

何况油甭包括扩散甭或者机械甭都是能谱议超薄窗的杀手，现在就连机械油泵都被替换成为干泵了。

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cz_sem
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2004/8/24 13:05:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢大家，是真空继电器的问题，换了一个好了。
另外我用的机械泵是ALCATEL PASCAL2010I型，以前用ALCATEL专用油120型，冬天不知道是机械泵的问题，还是油太稠，老是烧保险丝，并冒白烟，后来换了个机械泵，改用上海一家研究所产的真空油，用了两年了，现在废气也是白色的烟，检查油量满足，本想将油都放出来澄清过滤一下，但机械泵放油口没有专用工具，橡胶塞都快磨坏了也打不开，不知道大家有没遇到过这现象，是不是油老化了？
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