主题:请教探针的针尖是如何加工出来的

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yesky
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请教探针的针尖是如何加工出来的
谢谢
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ssh110
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AFM的微悬臂是通过微电子工艺制作在悬臂的前端。也有好的针尖用FIB来做的,还有利用CNT来做的!
shxie
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ssh110
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现在详细介绍针尖制作工艺的书不多,推荐两本可以看看,也只是只有其中的很少一部分介绍。
扫描隧道显微术及其应用

作者:白春礼
出版:上海科学技术出版社
ISBN: 7-5323-2787-6/0.161
内容提要

  本书介绍扫描隧道显微术这一新型表面分析技术的原理和应用。第一章介绍扫描隧道显微镜(STM)的基本原理及与电子显微镜和场离子显微镜的比较;第二章论述隧道效应理论的有关概念;第三章介绍隧道谱的原理,实验技术和应用;第四章着重讲述STM仪器结构和STM针尖的制作;第五章介绍在STM原理基础上发展起来的一系列扫描探针显微镜,如原子力显微镜(AFM)、激光力显微镜(LFM)、磁力显微镜(MFM)、弹道电子发射显微镜(BEEM)、光子扫描隧道显微镜(PSTM)等的原理、仪器结构、试验技术和应用;第六章至第九章分别以具体的实例介绍STM在金属和半导体表面结构、表面吸附质的结构和表面反应、生物体系、表面微细加工等方面的应用。
 


扫描力显微术

作者:白春礼 田芳 罗克
出版:科学出版社
ISBN:7-03-007819-5

内容简介

  扫描力显微术是一个迅速发展的领域。本书作者力图从理论、实践和应用三个方面对此进行较为系统的阐述,分别介绍扫描力显微术的基本原理、仪器结构、微悬臂的检测方式、与扫描力显微镜相关的各种力以及针尖 - 样品之间的各种相互作用,介绍几种扫描力显微镜,并综述了SFM在无机、有机、生物材料研究中的应用以及在基本力测量方面的一些研究进展。
shxie
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嗯,白春礼回来之后SPM似乎才被人们渐渐熟知呢,他的书应该比较权威了,谢谢推荐
pglac
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我推荐两本书:
1.Dawn A. Bonnell,Scanning Tunneling Microscopy and
Spectroscopy:Theory, Techniques,and Applications
2.Ernst Meyer, Scanning Probe Microscopy - The Lab on a Tip.
经典之作。
gangjianlei
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sun8069789
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针尖是如何加工出来属于微电子、半导体工艺的问题了啊!
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