离子泵
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优点
不使用液体
无需冷却水或液氮
可直接与真空系统相连
可以任意角度安装
无需预热
工作时体系与外界封闭
缺点
对真空要求高(优于10-6 mbar),否则钛板很快钝化失效
对所抽气体有选择性,必须是与钛有反应的气体,对惰性气体无效。即使惰性气体暂时可以被掩埋,仍可能被轰击出来(记忆效应)
溶解的氢或通过逆过程发生脱附,或与和钛结合的碳发生反应,会产生低质量数、气态的碳氢化合物,故离子泵中的主要残余气体为氢气和甲烷
泵体笨重,由于需要强磁场,故需巨大的磁铁
需要数千电子伏特的高压,操作时存在危险
昂贵,需要特殊的控制系统