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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：求助！没有电子束啊，高真空上部去

浏览0 回复7 电梯直达
ryjysu
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发表于：2006/05/09 16:33:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我是一名刚刚接触SEM的新手，遇到了个棘手的问题向大家请教。我的电镜是KYKY-2800的，它的电子束总是下不来，得不到图像，而且高真空也抽不上去，我找不到原因啊，谢谢啦
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2006/5/10 8:30:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没有电子束你可以调整一下电子枪的机械对中,用内六角扳手调整三个弹簧.高真空上不去,是指面板上的数码显示管到不了头吗?
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ryjysu
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2006/5/10 8:34:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我都试过了，调机械对中不管用啊，高真空也是，在真空表头的多数为50左右
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SHMILYLQ
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2006/5/10 8:43:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
表头50左右那真空是不高,你可以先整个电子枪放气,看一下电子枪的橡皮圈和样品室大门上的橡皮圈是否干净,有无脏东西?机械泵的声音异常吗?
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ryjysu
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2006/5/10 8:49:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我试试看看吧，我用的这台镜子已经很久没有正常的运行过了，我也是刚刚接收手的，抽真空的时候听着声音不太对，但是我也说不出来是那，找不到
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ryjysu
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2006/5/10 8:52:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
橡皮圈是干净的，我还清洗了光阑呢，也都没有反应，
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applehuang
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2006/5/12 0:13:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
高真空上不去有可能是你的镜筒或样品室里的橡胶圈老化,没有了弹性!造成密封性不好.你取下来的橡胶圈如果不能恢复原状,而是已经扁平的话那就考虑更换试试!还有可能就是你的扩散泵有问题,也许该换油了!
调节电子束要有耐心,慢慢调!如果你是新手,建议你找个有经验的指导你一下!
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Last edit by applehuang
weifenxi
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2006/5/12 15:38:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 ryjysu 发表:
我是一名刚刚接触SEM的新手，遇到了个棘手的问题向大家请教。我的电镜是KYKY-2800的，它的电子束总是下不来，得不到图像，而且高真空也抽不上去，我找不到原因啊，谢谢啦

你先不要着急看像，先把真空的故障解决,否则你的电镜会坏的。
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Last edit by weifenxi
手机版： 求助！没有电子束啊，高真空上部去
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