原文由 cheneylin 发表:
谢谢大家的回复!
我需要探测的是介质薄膜内部元素,不知道针对这种薄膜,该仪器的探测深度大约是多少?看了帖子里介绍的计算方法,但还是不甚明白。我的理解是,是不是针对金属薄膜,由于其电子束缚能力弱,可探测深度大;而介质薄膜,其电子束缚能力强,可探测深度小,而不论是介质或金属,其探测范围一般都在300nm~1000nm,是吗?请大家继续指教!谢谢
在扫描电镜中,产生X射线的深度主要与样品的原子序数有关,对于钢铁类金属,深度约为1微米,对于重元素要浅些,对于一些轻元素,深度可达到十几微米。