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主题：【求助】EBSD中的背景问题

浏览0 回复6 电梯直达
tianya2008
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发表于：2010/06/17 03:09:02 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位大侠们好，我最近接触EBSD用于相分析，但是在实验中发现一个问题，在低倍下取完背景，没有菊池花样，但是等我放大倍数以后，在还没有取点分析的情况下，菊池花样就很明显。在这种情况下，做出来的相的锯齿花样会有重叠，请问各位这个问题怎么解决，先谢谢了。
怕说不清楚，特上照片一张，这是在高倍下做的锯齿花样，似乎有两条线重叠在一起：
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2010/6/17 11:18:23 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
扣背底要在较低的倍数下完成，扣背底就是扣除分析区域周围的噪音影响，故此不能在太高倍数下操作。一般扣背底的倍数放大至要分析样品的整个表面在接近SEM图像全貌的倍数。不知道你的倍数有多高？从情形看你的样品晶粒尺寸不小，才会有这种高被下背底重影。
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2010/6/17 11:30:14 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
此外，标定花样前需要精细校正，否则容易误标。EBSP的标定分辨率不高，空间分辨率不高，与SEM的背散射电子信号分辨率一致（约5nm~2um），且钨灯丝和场发射的也有差别；花样识别的角分辨率在0.5~2°，其实一般都大于1°的。
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tianya2008
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2010/6/25 1:04:05 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
低倍和高倍下，我都取过背景，但是结果没有很大区别，也不知道是为什么？我的合金和Al-4.5%Cu铸造合金，晶粒尺寸是有些大。那请问在这种情况下，该怎样才能消除这种背景的影响，而最后的菊池花样不出现重叠呢？谢谢。
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2010/7/2 17:56:24 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有几个参数可以考虑调整试试，工作距离WD，加速电压，光阑大小，尤其是探头距离。
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tianya2008
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2010/7/6 21:00:47 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
加速电压是20kv，工作距离WD是20，spot size 是60， 探头距离是175.这些值都是电镜老师还有技术人员设定的，貌似也是比较好的参数。想请问一下，这里面的哪个值需要调整，还请告知，谢谢。
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2010/7/12 18:42:30 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这些参数都是懒人参数，真要做的精确的话，不同样品都需要各自校正的。
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