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主题：【讨论】扫面电镜使用过程中遇到图像漂移的现象

浏览0 回复14 电梯直达
gegeyc88
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发表于：2013/05/28 13:24:26 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位老师:

    大家好，如题，有时候在测试的时候遇到图像漂移的现象，排除样品的导电性的问题，用的是背散射探头，大家来说说可能的原因。
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2013/5/28 13:44:01 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样品台精度不够
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gegeyc88
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2013/5/28 15:34:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 另一半是孩子(v2685631) 发表:

样品台精度不够


能不能具体说明下~~
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kfcontrol
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2013/5/28 16:51:29 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
虽然你说排除样品导电性的问题，我还是分享一个我的经历吧。。。拍13nm的金颗粒在硅片上，发现图像飘逸的很厉害，感觉就像下雪一样，同学指出“金”肯定导电性能好，为什么还会飘逸呢！然后我们在硅片周围用铜胶带搭桥到样品台上发现。。。图像飘逸减轻很多，甚至没有。。。所以感觉图像要是飘逸，排除机器毛病，还是感觉是导电性的问题
该帖子作者被版主 v2675311加 2积分， 2经验，加分理由：实践是检验真理的标准
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fengyonghe
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2013/5/28 17:58:41 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
只看载物台也漂移才能说明是载物台机械加工精度不够造成的漂移。载物台还有一根接地线要确保接牢。
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2013/5/28 18:00:37 Last edit by fengyonghe
gegeyc88
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2013/5/28 20:22:51 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:

只看载物台也漂移才能说明是载物台机械加工精度不够造成的漂移。载物台还有一根接地线要确保接牢。


怎么样校正样品台呢？
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gegeyc88
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2013/5/28 20:23:16 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 kfcontrol(kfcontrol) 发表:

虽然你说排除样品导电性的问题，我还是分享一个我的经历吧。。。拍13nm的金颗粒在硅片上，发现图像飘逸的很厉害，感觉就像下雪一样，同学指出“金”肯定导电性能好，为什么还会飘逸呢！然后我们在硅片周围用铜胶带搭桥到样品台上发现。。。图像飘逸减轻很多，甚至没有。。。所以感觉图像要是飘逸，排除机器毛病，还是感觉是导电性的问题


下次再试试。
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龙吟小魔鬼童鞋
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2013/5/29 12:57:35 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
学习中，希望楼主可以试试
该帖子作者被版主 v2675311加 1积分， 2经验，加分理由：欢迎新人~~，希望再接再厉！！
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小M
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2013/5/29 18:37:08 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
样品固定原因；导电性；导电通路（连接）
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好强
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2013/6/5 15:00:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可能是用的导电胶的原因
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gegeyc88
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2013/6/5 15:48:07 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 好强(v2730878) 发表:

可能是用的导电胶的原因


一般用的都是碳导电胶，但个人觉得这个导电胶不是很好~用万用表测都不导电的。
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