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主题：旋转泵启动时放炮、冒白烟是何问题？

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zemb
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发表于：2006/12/04 22:01:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我遇到几家扫描电镜的旋转泵在启动时声音特别大，像拖拉机声，有时像放炮，排气管尽管有油雾过滤器，但还冒出很多白烟（油蒸汽），十几秒或数十秒后声音正常，真空度也正常。不知何因，请不吝赐教。
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2006/12/5 9:12:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
刘老师，是机械泵？环境温度低吗？
以前遇到过，把阿尔卡特的油换成较稀的国产油后就好了。
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sunnysky
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2006/12/5 13:14:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
彻底清洗机械泵后,再换新油就会好,还有可能真空系统在初始时渗漏过大所致
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zemb
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2006/12/5 17:22:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
感谢二位指教。
有的泵是很新的，用的从工厂带来的油，室内基本恒温（20-25度），也是有这个现象，换了一个泵还是这样。
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miao_zhuang
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2006/12/6 10:16:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
启动是有时声音大应该是正常的，冒白烟就有点吓人了
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fftao812
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2007/4/16 11:36:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果该机有手动抽真空操作,可以设法关闭相应管道及阀门,再开泵抽真空,看看情况,这样可以判断是否是镜内泄漏过大或漏气情况.
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fftao812
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2007/4/16 11:50:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们遇到过一台电镜,因一个阀门故障,RP泵处于抽大气状态,泵声音很大,"嘭嘭..."伴随有大量白烟.
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