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主题：【求助】请问大家如何对无机薄膜的sem样品制样的

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hitmanlee
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发表于：2007/05/30 09:32:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我制备的无机薄膜材料样品非常不好
在扫描电镜下观看发现断口不平齐
膜面翘起或者撕掉了，没有像别人文献里那样整齐清晰的断面
按说高分子等有机膜会出现这种情况，需要液氮冷冻后脆断
我的样品是5mm白玻璃上镀的SnO2和ITO膜，分别用APCVD和磁控溅射镀上去的
这种无机硬膜也会翘起？
不知道各位是怎样制备薄膜样品的
小弟初来乍到，希望各位不惜赐教哈～
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2007/8/2 16:29:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
虽然不是原创,不错了.
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2007/9/5 16:32:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
有没有TFT-LCD行业的同任啊?我现在做侧面分析时候,金属层在裂片的时候被拉伸了,不能看清真正的膜厚?谁能告诉我怎么处理这样的玻璃基板样品?
x994zyh@163.com
谢谢!!
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2007/9/5 16:38:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼主也是搞TFT-LCD的吧?能不能留下联络方式,互相讨论一下
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