主题:【求助】如何用FIB观察断面结构?

浏览0 回复14 电梯直达
suntht
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仪器是FB-2000A,想观察纳米线的断面结构,怎么操作呢?感觉很难得到清晰的图片
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jeolzxj
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离子枪的分辨率相对较低,所以一般是用离子束切,在场发射电镜下看,双束的就最好了.
suntht
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用FIB切割铝纳米线,结果切面融化了,什么都观察不到了。
jeolzxj
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原文由 suntht 发表:
用FIB切割铝纳米线,结果切面融化了,什么都观察不到了。

用的束流太大了?你用的多少?
suntht
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suntht
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谢谢jeolzxj,我减小电流试试。是不是从beam01到beam09,电流增大,聚焦度降低?
对了,看到你上传的一幅图,非常漂亮,能不能发个简单的制作过程?
jeolzxj
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原文由 suntht 发表:
仪器是FB-2000A,想观察纳米线的断面结构,怎么操作呢?感觉很难得到清晰的图片


电流越小,图象的信噪比就要差些.我的图是用FEI的Nova200自动切的,你的FB-2000A我不太了解.
wbslandy
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