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主题：【原创】扫描电镜的分辨率是如何测量的?

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semoperator
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发表于：2007/10/10 18:54:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各个厂家的扫描电镜对分辨率都有一个指标，例如在某个工作条件下是1nm，请问这个指标最后是怎么测量确认的呢?

我知道透射电镜的分辨率的测量是拍摄金颗粒的某个晶面的图像，如111面的，因为Au的111面的面间距是已知的，只要能拍到清晰的高分辨图像，就可以说仪器到了这个分辨率了。

但扫描电镜没有那么高的分辨率，所以通常它是怎样测分辨率就不清楚了，请指教。

另外，还有一个关于spot size 的问题，请大侠也讲讲不同spot size对成像质量的影响，如何与电压、探头模式配合起来得到好的图像？
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lp1123
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2007/10/10 20:40:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分辨率在操作时是可调的，另外调的好与否还要看经验
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RENXIN
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2007/10/11 18:18:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 semoperator 发表:
各个厂家的扫描电镜对分辨率都有一个指标，例如在某个工作条件下是1nm，请问这个指标最后是怎么测量确认的呢?

我知道透射电镜的分辨率的测量是拍摄金颗粒的某个晶面的图像，如111面的，因为Au的111面的面间距是已知的，只要能拍到清晰的高分辨图像，就可以说仪器到了这个分辨率了。

但扫描电镜没有那么高的分辨率，所以通常它是怎样测分辨率就不清楚了，请指教。

另外，还有一个关于spot size 的问题，请大侠也讲讲不同spot size对成像质量的影响，如何与电压、探头模式配合起来得到好的图像？


以前有帖子讲得很详细，像是每周一问新一。
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huangtao0307
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2007/11/5 17:42:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
測量兩顆粒之的最小間距
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huangtao0307
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2007/11/5 17:43:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
忘偉附件了﹗呵呵﹗
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gqxiechina
gqxiechina
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2008/3/20 15:39:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
从你的SEM图像，你可以分辨的，如，约1nm的颗粒，一般是Au标准样，你可以分辨出，就说明分辨率1nm
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