主题：【原创】关于 fei扫描电镜的问题

原文由 happydfli 发表:
我们有一台Nova200 Nano 的FEI的扫描电镜，配的是牛津的INCA能谱，有一些问题，不知道大家知道嘛？
INCA的探头不带电子陷阱，说是避免对SEM的in－lens模式造成影响，不知道这个说法对嘛？这样一来，在做能谱时，SEM要先手动切换到EDX能谱模式，才能进行正常的能谱采集，但是一旦转到EDX能谱模式下，SEM在低倍下的成像就很差，800倍下图像中心都会有个亮斑，就像低倍下的光学显微镜一样，也不知道是怎么回事？
哪位仁兄遇到过同样的问题呢？请多指教呀。

原文由 tao______ 发表:
的确是这样，NOVA200 Nano是不允许用磁性材料的电子陷阱的，您可以打开仓门看，上面的准直器和一般的是不一样的，是一种长长的很尖的准直器，里面没有磁体材料。
由于没有了电子陷阱，在正常模式下，电子会进入探测器，形成很高的噪音，死时间很大，能谱无法正常工作。
因此必须切换到EDS模式通过电镜提供的电场来过滤电子，当然这样会造成电镜图象分辨率变差。
顺便做一下广告：布鲁克的SDD能谱没有这样的问题，如下图,我们在国内一家半导体工厂的照片，无需切换到EDS模式直接就可以分析，因此电镜的分辨率不受影响。

原文由 happydfli 发表:
我们有一台Nova200 Nano 的FEI的扫描电镜，配的是牛津的INCA能谱，有一些问题，不知道大家知道嘛？
INCA的探头不带电子陷阱，说是避免对SEM的in－lens模式造成影响，不知道这个说法对嘛？这样一来，在做能谱时，SEM要先手动切换到EDX能谱模式，才能进行正常的能谱采集，但是一旦转到EDX能谱模式下，SEM在低倍下的成像就很差，800倍下图像中心都会有个亮斑，就像低倍下的光学显微镜一样，也不知道是怎么回事？
哪位仁兄遇到过同样的问题呢？请多指教呀。

原文由 happydfli 发表:
基本不用环扫，但这个镜子的LV模式我们还是有用的，我们有一些样品表面氧化或腐蚀后导电性不好，在LV下看更好一点。

原文由 RENXIN 发表:

原文由 tao______ 发表:
的确是这样，NOVA200 Nano是不允许用磁性材料的电子陷阱的，您可以打开仓门看，上面的准直器和一般的是不一样的，是一种长长的很尖的准直器，里面没有磁体材料。
由于没有了电子陷阱，在正常模式下，电子会进入探测器，形成很高的噪音，死时间很大，能谱无法正常工作。
因此必须切换到EDS模式通过电镜提供的电场来过滤电子，当然这样会造成电镜图象分辨率变差。
顺便做一下广告：布鲁克的SDD能谱没有这样的问题，如下图,我们在国内一家半导体工厂的照片，无需切换到EDS模式直接就可以分析，因此电镜的分辨率不受影响。

原文由 happydfli 发表:
我们有一台Nova200 Nano 的FEI的扫描电镜，配的是牛津的INCA能谱，有一些问题，不知道大家知道嘛？
INCA的探头不带电子陷阱，说是避免对SEM的in－lens模式造成影响，不知道这个说法对嘛？这样一来，在做能谱时，SEM要先手动切换到EDX能谱模式，才能进行正常的能谱采集，但是一旦转到EDX能谱模式下，SEM在低倍下的成像就很差，800倍下图像中心都会有个亮斑，就像低倍下的光学显微镜一样，也不知道是怎么回事？
哪位仁兄遇到过同样的问题呢？请多指教呀。

我也知道FEI的NANOSEM不用磁性的电子陷阱，想必是电镜设计的不同。
所以逻辑上讲要是电镜设计的问题，任何使用磁性陷阱的能谱探头都应该不适用，为什么BRUKER的就行呢，不明白。
顺便提一句，个人测试过BRUKER的陷阱场强和其他普通LN2探头的陷阱场强，BRUKER的强得多，为什么高场强的陷阱反而不影响电镜成像呢。

原文由 tao______ 发表:
回RENXIN兄：NAVA NANOSEM 我们有专用的电子陷阱，非磁性材料的，不知道确切的名字叫什么？听JIANFENG兄讲叫做静电场电子陷阱！

原文由 RENXIN 发表:

原文由 tao______ 发表:
的确是这样，NOVA200 Nano是不允许用磁性材料的电子陷阱的，您可以打开仓门看，上面的准直器和一般的是不一样的，是一种长长的很尖的准直器，里面没有磁体材料。
由于没有了电子陷阱，在正常模式下，电子会进入探测器，形成很高的噪音，死时间很大，能谱无法正常工作。
因此必须切换到EDS模式通过电镜提供的电场来过滤电子，当然这样会造成电镜图象分辨率变差。
顺便做一下广告：布鲁克的SDD能谱没有这样的问题，如下图,我们在国内一家半导体工厂的照片，无需切换到EDS模式直接就可以分析，因此电镜的分辨率不受影响。

原文由 happydfli 发表:
我们有一台Nova200 Nano 的FEI的扫描电镜，配的是牛津的INCA能谱，有一些问题，不知道大家知道嘛？
INCA的探头不带电子陷阱，说是避免对SEM的in－lens模式造成影响，不知道这个说法对嘛？这样一来，在做能谱时，SEM要先手动切换到EDX能谱模式，才能进行正常的能谱采集，但是一旦转到EDX能谱模式下，SEM在低倍下的成像就很差，800倍下图像中心都会有个亮斑，就像低倍下的光学显微镜一样，也不知道是怎么回事？
哪位仁兄遇到过同样的问题呢？请多指教呀。

我也知道FEI的NANOSEM不用磁性的电子陷阱，想必是电镜设计的不同。
所以逻辑上讲要是电镜设计的问题，任何使用磁性陷阱的能谱探头都应该不适用，为什么BRUKER的就行呢，不明白。
顺便提一句，个人测试过BRUKER的陷阱场强和其他普通LN2探头的陷阱场强，BRUKER的强得多，为什么高场强的陷阱反而不影响电镜成像呢。

原文由 tao______ 发表:
回RENXIN兄：NAVA NANOSEM 我们有专用的电子陷阱，非磁性材料的，不知道确切的名字叫什么？听JIANFENG兄讲叫做静电场电子陷阱！

原文由 RENXIN 发表:

原文由 tao______ 发表:
的确是这样，NOVA200 Nano是不允许用磁性材料的电子陷阱的，您可以打开仓门看，上面的准直器和一般的是不一样的，是一种长长的很尖的准直器，里面没有磁体材料。
由于没有了电子陷阱，在正常模式下，电子会进入探测器，形成很高的噪音，死时间很大，能谱无法正常工作。
因此必须切换到EDS模式通过电镜提供的电场来过滤电子，当然这样会造成电镜图象分辨率变差。
顺便做一下广告：布鲁克的SDD能谱没有这样的问题，如下图,我们在国内一家半导体工厂的照片，无需切换到EDS模式直接就可以分析，因此电镜的分辨率不受影响。

原文由 happydfli 发表:
我们有一台Nova200 Nano 的FEI的扫描电镜，配的是牛津的INCA能谱，有一些问题，不知道大家知道嘛？
INCA的探头不带电子陷阱，说是避免对SEM的in－lens模式造成影响，不知道这个说法对嘛？这样一来，在做能谱时，SEM要先手动切换到EDX能谱模式，才能进行正常的能谱采集，但是一旦转到EDX能谱模式下，SEM在低倍下的成像就很差，800倍下图像中心都会有个亮斑，就像低倍下的光学显微镜一样，也不知道是怎么回事？
哪位仁兄遇到过同样的问题呢？请多指教呀。

我也知道FEI的NANOSEM不用磁性的电子陷阱，想必是电镜设计的不同。
所以逻辑上讲要是电镜设计的问题，任何使用磁性陷阱的能谱探头都应该不适用，为什么BRUKER的就行呢，不明白。
顺便提一句，个人测试过BRUKER的陷阱场强和其他普通LN2探头的陷阱场强，BRUKER的强得多，为什么高场强的陷阱反而不影响电镜成像呢。

原文由 hitachi-demo 发表:

原文由 tao______ 发表:
回RENXIN兄：NAVA NANOSEM 我们有专用的电子陷阱，非磁性材料的，不知道确切的名字叫什么？听JIANFENG兄讲叫做静电场电子陷阱！

原文由 RENXIN 发表:

原文由 tao______ 发表:
的确是这样，NOVA200 Nano是不允许用磁性材料的电子陷阱的，您可以打开仓门看，上面的准直器和一般的是不一样的，是一种长长的很尖的准直器，里面没有磁体材料。
由于没有了电子陷阱，在正常模式下，电子会进入探测器，形成很高的噪音，死时间很大，能谱无法正常工作。
因此必须切换到EDS模式通过电镜提供的电场来过滤电子，当然这样会造成电镜图象分辨率变差。
顺便做一下广告：布鲁克的SDD能谱没有这样的问题，如下图,我们在国内一家半导体工厂的照片，无需切换到EDS模式直接就可以分析，因此电镜的分辨率不受影响。

原文由 happydfli 发表:
我们有一台Nova200 Nano 的FEI的扫描电镜，配的是牛津的INCA能谱，有一些问题，不知道大家知道嘛？
INCA的探头不带电子陷阱，说是避免对SEM的in－lens模式造成影响，不知道这个说法对嘛？这样一来，在做能谱时，SEM要先手动切换到EDX能谱模式，才能进行正常的能谱采集，但是一旦转到EDX能谱模式下，SEM在低倍下的成像就很差，800倍下图像中心都会有个亮斑，就像低倍下的光学显微镜一样，也不知道是怎么回事？
哪位仁兄遇到过同样的问题呢？请多指教呀。

我也知道FEI的NANOSEM不用磁性的电子陷阱，想必是电镜设计的不同。
所以逻辑上讲要是电镜设计的问题，任何使用磁性陷阱的能谱探头都应该不适用，为什么BRUKER的就行呢，不明白。
顺便提一句，个人测试过BRUKER的陷阱场强和其他普通LN2探头的陷阱场强，BRUKER的强得多，为什么高场强的陷阱反而不影响电镜成像呢。

学习了。但还是有一个问题不明白，请教工兵兄，这个静电场电子陷阱的场强应该不小，不然无法捕获BSE，那么这么强的静电场是否会影响SDD中电子的漂移，是否会影响电镜电子束的正常扫描呢？