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主题：【求助】s-4800 扫描Au表面的问题

浏览0 回复9 电梯直达
wmdsjhjc
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发表于：2008/01/09 09:59:15 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
偶是新手，想向高手请教个问题！ 昨天用日立的 s-4800扫描 Si基的Au 膜， 膜厚500A, 放大倍数约200K，电子束强度0.5Kv， 准备扫描时，都会把扫描区域打成黑色，同时真空度有所下降， 重复数次问题相同！
请问这是正常现象或是Au表面干净？ 样品是用浓硫酸双氧水煮过的呀！
谢谢
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2008/1/9 10:29:41 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wmdsjhjc 发表:
偶是新手，想向高手请教个问题！ 昨天用日立的 s-4800扫描 Si基的Au 膜， 膜厚500A, 放大倍数约200K，电子束强度0.5Kv， 准备扫描时，都会把扫描区域打成黑色，同时真空度有所下降， 重复数次问题相同！
请问这是正常现象或是Au表面干净？ 样品是用浓硫酸双氧水煮过的呀！
谢谢


請問樓主能傳個圖片來看看嗎﹖﹖是不是像附件這個樣子﹐如果是那就可能是由于鏡筒污染了﹗
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2008/1/9 10:47:52 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
感谢楼上的回复 ，我没有看到你发的附件呀！
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wmdsjhjc
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2008/1/9 10:51:03 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看到论坛的贴里有也有遇到这种情况的http://www.instrument.com.cn/bbs/shtml/20071124/1069836/

当时这台s-4800又做了其它样，没有异常情况，只不过样品不是Au
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Last edit by wmdsjhjc
hitachi-demo
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2008/1/9 14:51:09 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
一般的，这种黑斑在低加速电压下更容易看到。您将样品彻底干燥后再试试看吧，样品不干燥或含有较多的其它容易挥发的成分，容易看到这种黑斑。
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2008/1/9 14:59:37 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 hitachi-demo 发表:
一般的，这种黑斑在低加速电压下更容易看到。您将样品彻底干燥后再试试看吧，样品不干燥或含有较多的其它容易挥发的成分，容易看到这种黑斑。



谢谢楼上回复！
这个不会是有机物附着被电子束打碳化了吧  如果提高电压是不是就消失了？
这里面的实质原因是什么呢？
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hitachi-demo
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2008/1/9 15:06:12 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
您给我个邮箱，我发篇文章给您，您就明白了。
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2008/1/9 18:18:09 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 hitachi-demo 发表:
一般的，这种黑斑在低加速电压下更容易看到。您将样品彻底干燥后再试试看吧，样品不干燥或含有较多的其它容易挥发的成分，容易看到这种黑斑。


邮箱已经短信发给你了 谢谢！！！
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huangtao0307
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2008/1/17 8:15:35 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wmdsjhjc 发表:
感谢楼上的回复 ，我没有看到你发的附件呀！


看不到附件哦﹗
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qiuxie44
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2008/1/20 10:59:48 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
Vacc太低了 ，观察金属，用这么低的干什么啊？
怎么也得用 10KV啊
实质原因不清楚
欢迎加入4800群
68845972
一起讨论啊
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