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主题：【讨论】溅射仪镀金一次有多厚？

浏览0 回复27 电梯直达
小不董
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发表于：2008/06/03 10:52:49 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
rt，这个和镀金时间和电流有关系，但具体关系有谁知道吗？大概的厚度能知道吗？
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小不董
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2008/6/11 15:57:58 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我问日本电子的工程师，他们也不知道，后来问日本那里的工程师，也没有给出个明确答案。一般大概3-4nm
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guanjun19860820
guanjun19860820
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2008/6/22 17:24:07 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 doxw0323 发表:
rt，这个和镀金时间和电流有关系，但具体关系有谁知道吗？大概的厚度能知道吗？

我也很想知道！
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天下至道
273557488
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2008/12/24 15:48:19 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
15ma,60s  镀金  10nm,日立工程师说的
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qqbrotton
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2008/12/24 18:26:51 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
与样品放置的位置有关，在确定的位置和电流下，与时间关系有一条曲线
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春天的桃子
dct1983
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2008/12/24 21:01:39 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不超过１０ＮＭ的
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wildonkey
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2008/12/25 20:23:39 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
貌似和样品高度也有关系，不同厂家的产品也有一定差别，真空度的高低是不是也有影响？
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heihei727
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2009/1/12 13:48:17 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 273557488 发表:
15ma,60s  镀金  10nm,日立工程师说的

好像镀金厚度与电流，时间有关的，各厂家应该有说明
个人感觉好像也与样品表面到金靶距离有关吧，不知是否准确
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prodigy38
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2009/1/15 20:35:38 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 doxw0323 发表:
rt，这个和镀金时间和电流有关系，但具体关系有谁知道吗？大概的厚度能知道吗？

看一下说明书， 里面应该有个线形图， 可根据时间和电流来决定膜厚
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xcz111
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2009/1/17 18:16:33 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
日历工程师胡扯，大该在3－4nm
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xcz111
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2009/1/17 18:19:09 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
电流越大，溅射下来的金颗粒越大，在同样的时间下就越厚。
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