主题:【讨论】扫描电镜的发射深度是多大?

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dinel2004
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各位老师请赐教:一直有个问题不清楚:扫描电镜到底能看到样品多深?镀金厚度一般是多少?
  书上是这样说:扫描电子像就是二次电子像,二次电子的发射深度为样品表面几纳米到几十纳米的区域;而镀金厚度又说是要10纳米左右,真不知正常看扫描电镜的镀金厚度到底是多少?而扫描电镜到底能看到样品多深?(指正常加速电压15~20KV)
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alexzhtang
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图为入射电子束轰击样品表面产生的各种信号以及深度.

该帖子作者被版主 huangtao03072积分, 2经验,加分理由:好評
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Last edit by alexzhtang
dinel2004
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这么说,二次电子的发射深度为样品表面几纳米到几十纳米的区域是正确的,那么看SEM时镀金厚度正常是多厚呢?
fengyonghe
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原文由 dinel2004 发表:
这么说,二次电子的发射深度为样品表面几纳米到几十纳米的区域是正确的,那么看SEM时镀金厚度正常是多厚呢?

二次电子产生的深度为几纳米至几十纳米,镀金膜二次电子产生的深度也在这个范围内,我们希望二次电子形貌像是来自镀金膜,不希望有基体的二次电子参与像的形成。镀金膜厚度10纳米可以达到这个目的。假如镀金膜厚度只有2纳米,镀金膜二次电子像中叠加有基体的二次电子像,图像会变模糊。
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dinel2004
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原文由 fengyonghe 发表:
原文由 dinel2004 发表:
这么说,二次电子的发射深度为样品表面几纳米到几十纳米的区域是正确的,那么看SEM时镀金厚度正常是多厚呢?

二次电子产生的深度为几纳米至几十纳米,镀金膜二次电子产生的深度也在这个范围内,我们希望二次电子形貌像是来自镀金膜,不希望有基体的二次电子参与像的形成。镀金膜厚度10纳米可以达到这个目的。假如镀金膜厚度只有2纳米,镀金膜二次电子像中叠加有基体的二次电子像,图像会变模糊。


喔,原来是这样!感谢!
春天的桃子
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原文由 fengyonghe 发表:
原文由 dinel2004 发表:
这么说,二次电子的发射深度为样品表面几纳米到几十纳米的区域是正确的,那么看SEM时镀金厚度正常是多厚呢?

二次电子产生的深度为几纳米至几十纳米,镀金膜二次电子产生的深度也在这个范围内,我们希望二次电子形貌像是来自镀金膜,不希望有基体的二次电子参与像的形成。镀金膜厚度10纳米可以达到这个目的。假如镀金膜厚度只有2纳米,镀金膜二次电子像中叠加有基体的二次电子像,图像会变模糊。

如果镀金膜太薄,看起来的图象将会产生放电
永远的菜鸟
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原文由 dct1983 发表:
原文由 fengyonghe 发表:
原文由 dinel2004 发表:
这么说,二次电子的发射深度为样品表面几纳米到几十纳米的区域是正确的,那么看SEM时镀金厚度正常是多厚呢?

二次电子产生的深度为几纳米至几十纳米,镀金膜二次电子产生的深度也在这个范围内,我们希望二次电子形貌像是来自镀金膜,不希望有基体的二次电子参与像的形成。镀金膜厚度10纳米可以达到这个目的。假如镀金膜厚度只有2纳米,镀金膜二次电子像中叠加有基体的二次电子像,图像会变模糊。

如果镀金膜太薄,看起来的图象将会产生放电
怪不得有时候,我镀了金,还有放电现象,原来是镀薄了。。
fengyonghe
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原文:怪不得有时候,我镀了金,还有放电现象,原来是镀薄了。。
答:如果只观察二次电子像可以这样考虑,如果要做能谱分析,入射电子必须进入试样内部,放电问题仍然会出现。
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永远的菜鸟
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受教了,谢谢!~
原文由 fengyonghe 发表:
原文:怪不得有时候,我镀了金,还有放电现象,原来是镀薄了。。

答:如果只观察二次电子像可以这样考虑,如果要做能谱分析,入射电子必须进入试样内部,放电问题仍然会出现。
syning90
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如果金膜度的太薄样品表面会出现电荷累计,累计到一定程度就会出现放电,在荧光屏上看就是越来越亮,而且金膜时间长了会出现汇聚,在样品表面就是凝结成一团一团的。所以镀完膜的样品最好尽快观察,尽量不要过夜
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