原文由 200422126(200422126) 发表:
不过还有一个问题请教,Dark Tilt/bright Tilt 模式下旋转DEF-X\Y旋钮分别暗场、明场模式下改变聚光镜束偏转线圈电流,倾转电子束,而调节SHIFT-X\Y旋钮是改变聚光镜束偏转线圈电流,平移电子束,“倾转”和“平移”在技术上怎么实现,有什么区别?
另外在调节过程中后续的一些改变聚光镜束偏转电流的操作会不会影响到前面的合轴,破坏已经调好的合轴状态。譬如说做中心暗场像需要Dark Tilt模式下旋转DEF-X\Y旋钮改变聚光镜束偏转线圈电流,倾转电子束,将衍射斑移到荧光屏中心,这个过程是否破坏了前面的合轴状态。
我们通过SHIFT-X.Y“平移“电子束主要是改变第一聚光镜偏转线圈- CL A1.平移应当始终使电子束的入射方向与物镜的光轴相平行,但只改变CL A1,电子束在这个地方将发生一个角度的偏转,这时的光会被移动但它将不是与光轴平行的状态了。而为了保持平行的状态,必须在第二聚光镜偏转线圈(CL A2)这里再给他反方向偏转回同一角度.这样就可以实现电子束平行于光轴的平移了.
而我们通过DEF-X,Y"倾转"电子束主要是改变第二聚光镜偏转线圈- CL A2。同样,如果只改变CL A2 电子束会被偏转于光轴形成一定的夹角,但这是电子束的位置也会发生改变,而为了不让电子束在倾转时发生移动我们就要同时改变CL A1,来补偿CL A2带来的电子束移动.
而所有这些补偿都是借助联动比合轴进行确认并通过电路在我们做平移和倾转时来自动实现的.
在做中心暗场像时我们需要倾斜电子束,将需要的衍射斑移到中心,而这也同时破坏了电压和电流中心.所以一般电镜都配有DARK TILT & BRIGHT TILT 以方便两种模式的切换,而在暗场下倾转的电子束不会影响到明场.