主题：两款扫描电镜（SEM）对垒之蓝方观点：HITACHI的S-3400N扫描电镜

更正一下楼主的一个错误
zeiss的型号叫做 EVO MA 10
Hitachi的型号叫做 S-3400N

原文由 insulater(insulater) 发表:
更正一下楼主的一个错误
zeiss的型号叫做 EVO MA 10
Hitachi的型号叫做 S-3400N

谢谢提醒，已经更正了，欢迎您能发表一些观点

s-3400有低真空模式，且有4个可调节物镜光阑，使用比较方便。

HITACHI的S-3400N扫描电镜 优点不多，缺点如下：
1：SE 解析度特别差，NOISE 多，一般拍十万倍的照片甚至是几千倍只要用过电镜的人都能分的清楚，（我所说的全新机器）还没有用了几年后日本电子同等机型效果好，BSE 是五分割得半导体材料制作效果不错。
2.不管BSE图像效果好到那里，因为他是建立在牺牲工作距离的基础之上的，这种机型几乎所有用户BSE探头几乎都被撞坏了，如果样品台是五轴马达电动驱动的，坏的更严重。（探头的价格不会便宜的）
3.做ＥＤＳ能谱分析时，WD=10mm 而且必须是这个值，样品在样品室的有效安全距离只有5MM左右，这也就是BSE探头容易坏的原因
4.ＢＳＥ探头不方便自动移出，大部分的用户根本都不知道如何将ＢＳＥ探头从样品室内拉出来，几乎可以认为BSE探头就是固定的。即使客户知道如何将探头拉出来，但是一般情况下是很难再放回去的。大部分的电竞都是自动伸缩的，比如只用ＳＥ的时候，BSE探头就自动跑到外面去，或者有些机型直接用鼠标点一下就好了。S-3400这是陷阱，赚维修费。
5.真空系统虽好，但是他的TMP涡轮泵每隔两三年就要更换，还有涡轮泵上有个装涡轮油的容器，每隔一年要更换的。这些东西所有的业务在推销的时候都不会说的哦(这些价格单位都是万级的）。
6.BSE探头的防撞设计缺陷太大了，BSE探头都撞坏了，防撞的感应器都没有报警，不信可以试试看。
7.还有装在它上面的ＥＤＳ　HORIBA的天天有毛病，修一下两三个月，十几万不说，还是一样，说死不死，说活不活的。
8.日本的耗材，再加上国内的经销商，价格堪比现在的房价，说到房价大家都清楚了吧
9.要买日本的东西，我觉得签好协议，比如说这台机器可以用个十年，把十年内所需的耗材和配件全部订好，其它没有告知的配件全部由日本承担，以防不测。
其它还有很多。。。。。
在此就不抱怨了

对楼上那位的专业很佩服??！！

很多设备的使用效果，有很多因素影响，即使想证明红方优点，也要有理有据吧。拼凑些貌似专业的名词，不合适做结论。

原文由 china-sem(China-sem) 发表:
HITACHI的S-3400N扫描电镜 优点不多，缺点如下：
1：SE 解析度特别差，NOISE 多，一般拍十万倍的照片甚至是几千倍只要用过电镜的人都能分的清楚，（我所说的全新机器）还没有用了几年后日本电子同等机型效果好，BSE 是五分割得半导体材料制作效果不错。

什么叫做解析度特别差？你结论有什么依据？你用过多少家全新的机器，你的操作得到多少家的培训认可？

2.不管BSE图像效果好到那里，因为他是建立在牺牲工作距离的基础之上的，这种机型几乎所有用户BSE探头几乎都被撞坏了，如果样品台是五轴马达电动驱动的，坏的更严重。（探头的价格不会便宜的）

BSE效果好，你也不满意？你调查多少用户的BSE探头被撞坏了？有名单吗？

3.做ＥＤＳ能谱分析时，WD=10mm 而且必须是这个值，样品在样品室的有效安全距离只有5MM左右，这也就是BSE探头容易坏的原因

WD=10mm，是谁的标准？美国的 太平洋的？5mm距离不是距离吗？如果距离5mm可以成为碰撞的话，担心要修改辞海了。

4.ＢＳＥ探头不方便自动移出，大部分的用户根本都不知道如何将ＢＳＥ探头从样品室内拉出来，几乎可以认为BSE探头就是固定的。即使客户知道如何将探头拉出来，但是一般情况下是很难再放回去的。大部分的电竞都是自动伸缩的，比如只用ＳＥ的时候，BSE探头就自动跑到外面去，或者有些机型直接用鼠标点一下就好了。S-3400这是陷阱，赚维修费。

zeiss是刚刚出道的新电镜厂家，无法作为大部分电镜的代表。电镜用户有必要动BSE吗？

5.真空系统虽好，但是他的TMP涡轮泵每隔两三年就要更换，还有涡轮泵上有个装涡轮油的容器，每隔一年要更换的。这些东西所有的业务在推销的时候都不会说的哦(这些价格单位都是万级的）。

好像日立不生产涡轮泵吧？  谁家的真空系统不需要维护？

6.BSE探头的防撞设计缺陷太大了，BSE探头都撞坏了，防撞的感应器都没有报警，不信可以试试看。

脑子进水了吧，仪器是用的，不是来当孩子样耍的。除了BSE你有些新东东吗？

7.还有装在它上面的ＥＤＳ　HORIBA的天天有毛病，修一下两三个月，十几万不说，还是一样，说死不死，说活不活的。

日立电镜和HORIBA好像不是必须的搭配吧，horiba可以安装到任意电镜上面。

8.日本的耗材，再加上国内的经销商，价格堪比现在的房价，说到房价大家都清楚了吧

好了，把整个日本国都搭上了，还有所有的国内的经销商，加上大家最关注的房价，呵呵，像是在骂街

9.要买日本的东西，我觉得签好协议，比如说这台机器可以用个十年，把十年内所需的耗材和配件全部订好，其它没有告知的配件全部由日本承担，以防不测。

就是娶媳妇，带上儿媳妇的条件，包括月嫂工资，对吧！

其它还有很多。。。。。
在此就不抱怨了

S-3400N似乎是日立的高档wsem吧，是比较成功的市场定位，销售量很大，着实的赚了不少钱。通过这款wsem日立比日本电子显得聪明。
跟人家蔡司的硬件来拼，似乎还是弱。
天美的人勤劳啊！

原文由 china-sem(China-sem) 发表:
HITACHI的S-3400N扫描电镜 优点不多，缺点如下：
1：SE 解析度特别差，NOISE 多，一般拍十万倍的照片甚至是几千倍只要用过电镜的人都能分的清楚，（我所说的全新机器）还没有用了几年后日本电子同等机型效果好，BSE 是五分割得半导体材料制作效果不错。
2.不管BSE图像效果好到那里，因为他是建立在牺牲工作距离的基础之上的，这种机型几乎所有用户BSE探头几乎都被撞坏了，如果样品台是五轴马达电动驱动的，坏的更严重。（探头的价格不会便宜的）
3.做ＥＤＳ能谱分析时，WD=10mm 而且必须是这个值，样品在样品室的有效安全距离只有5MM左右，这也就是BSE探头容易坏的原因
4.ＢＳＥ探头不方便自动移出，大部分的用户根本都不知道如何将ＢＳＥ探头从样品室内拉出来，几乎可以认为BSE探头就是固定的。即使客户知道如何将探头拉出来，但是一般情况下是很难再放回去的。大部分的电竞都是自动伸缩的，比如只用ＳＥ的时候，BSE探头就自动跑到外面去，或者有些机型直接用鼠标点一下就好了。S-3400这是陷阱，赚维修费。
5.真空系统虽好，但是他的TMP涡轮泵每隔两三年就要更换，还有涡轮泵上有个装涡轮油的容器，每隔一年要更换的。这些东西所有的业务在推销的时候都不会说的哦(这些价格单位都是万级的）。
6.BSE探头的防撞设计缺陷太大了，BSE探头都撞坏了，防撞的感应器都没有报警，不信可以试试看。
7.还有装在它上面的ＥＤＳ　HORIBA的天天有毛病，修一下两三个月，十几万不说，还是一样，说死不死，说活不活的。
8.日本的耗材，再加上国内的经销商，价格堪比现在的房价，说到房价大家都清楚了吧
9.要买日本的东西，我觉得签好协议，比如说这台机器可以用个十年，把十年内所需的耗材和配件全部订好，其它没有告知的配件全部由日本承担，以防不测。
其它还有很多。。。。。
在此就不抱怨了

应该把蔡司的相应的技术性能，写出来，
摆事实讲道理，才有说服力。这么一弄，我这个局外人都想说两句！
1、比如分辨率，可以贴两张照片，群众的眼镜是雪亮的
2、工作距离越近，分辨率越高，样品台的倾斜移动时候就很危险，因此固体背散射探测器，容易被碰坏。我记得蔡司也宣传过四象限固体探测器，本质是一样的吧！ 难道就不怕碰？
3、如果能谱探头容易坏，就更有攻击力。破固体bse探测器，坏了也不值钱，不怕。：）
4、固体bse探测器，只能拆装，不能移动。可移动的是广角闪烁体背散射探测器，不分象限，不分割，造价还要高得多。蔡司的N个象限的bse难道能移动？
5、涡轮分子泵不如扩散泵皮实，难道蔡司是扩散泵的？
6、只知道攻击一点， 看来对人家的五分割bse固体探测器是充满仇恨。
7、能谱仪这种配置，应该骂人，是经销商配置有问题。不是电镜问题
8、骂的是人
9、还是骂人

我们单位原来用的是HITACHI公司的扫描电镜，后来因为有些小毛病，用起不太顺，以及用的周期长了，淘汰了。现在用的PHILIPS  XL30，故障也不少啊。不过旧的HITACHI的扫描电镜配有很多电子器件，也可以在原仪器上拆卸可用零件，有需要的可以联系我。

      使用了两年HITACHI的S-3400N扫描电镜，个人觉得很不错，操作很方便，也没有出现什么大的问题，仪器到现在一切运行良好。
      其间就是有一点小问题，测试软件偶而会死机，这时你必须把电脑及仪器全部关了，再把仪器后面STAGE和DISPLAY关闭，过一会再重新打开，软件就可使用，但是问题没有根本解决，软件还是会死机，想要从根本上解决这问题，可是把电脑主机打开，用酒精清洁一下PCB板的金手指位置就可，其实就是有点接触不良。
      拍摄的图片质量在1万倍以下都很好，但是1万倍以上要拍出很清晰的图片就有点难度了。