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X射线衍射仪（XRD）
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主题：【原创】求教XRD图分析

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zwz5436
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发表于：2010/04/01 17:12:51 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
小弟第一次用XRD，在玻璃上镀了一层氮化硅薄膜，硅靶，Ar气溅射气体，氮气反应气体，薄膜厚度在一微米一下，
用XRD怎么看结构 和成分。求个位大哥指教
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jidzhang
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2010/4/2 16:18:03 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
氮化硅的衍射峰都在10度以上，α相的第一个峰在20.6度，最强峰在31.0度，β相的第一个峰在13.4度，最强峰在27.1度。小第你很牛，居然从0度开测，没把探测器烧了吧。
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grandpa_2008
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2010/4/13 9:18:29 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
XRD图谱的取点，不是应该都很密集的吗，怎么这个分的这么开啊，除去坐标单看图谱的形式，倒是有点像介电温谱的形态，你用标准PDF比对过没有
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