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主题：【求助】SEM电子源的亮度反映了什么，对成像和图形有什么影响啊？

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bee_xie
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发表于：2010/05/29 14:31:26 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
RT~~~~SEM电子源的亮度反映了什么，对成像和图形有什么影响啊？ 知道的大侠说一下哈！小弟在此谢过了！
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2010/5/29 23:06:54 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
简单说，电子源的亮度主要反映电子枪的性能。
由于样品有用信号的产额已经固定，那么亮度越高，则相同直径的最终电子探针产生的有用信号就多，噪音一般是固定的，则信噪比高，图像质量好。
从终极意义上讲，可以获得更高的分辨率。
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linzq
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2010/5/30 8:00:44 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 驰奔(srd2009) 发表:
简单说，电子源的亮度主要反映电子枪的性能。
由于样品有用信号的产额已经固定，那么亮度越高，则相同直径的最终电子探针产生的有用信号就多，噪音一般是固定的，则信噪比高，图像质量好。
从终极意义上讲，可以获得更高的分辨率。

说得十分的清楚，明了。我还在想如何说得清楚一些，到处去查资料。看来你不是论坛专家确实可惜了。
亮度 用公式表示是亮度＝束流 /  灯丝发射面积×立体角×加速电压
立体角是指灯丝发射的虚拟点和灯丝发射范围的夹角。
从这个公式我们可以知道灯丝亮度不仅仅和束流有关还与灯丝的发射面积和发射的立体角有关。钨灯丝，热场，冷场束流依次减少但由于发射面积和立体角的关系亮度则为5E5，5E8 ，5E8。可见钨灯丝亮度最差热场冷场的亮度差不多。冷场虽然比热场束流小但发射面积和立体角要小于热场所以两者的亮度没有区别，但冷场由于发射面积小灯丝发射的能量发散度要小一些为0.3-0.5EV，热场为0.6-0.8EV；能量发散度关系到色散，所以相对于热场冷场色散要小一些。所以理论上冷场的分辨能力要好于热场的原因
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2010/5/30 16:50:23 Last edit by linzq
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