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主题：【求助】拉曼检测薄膜最少能到多厚？

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xiaoyu4048
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发表于：2010/06/18 10:36:11 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
硅上用磁控溅射的方法镀的氧化锌薄膜，厚度在80个纳米左右，用renishaw rm2000 做测试，只能得到硅基体的峰，是不是因为薄膜的厚度太薄了呢？可是看到一些文献上拉曼甚至还可以检测30个纳米的薄膜，他们又是怎么做出来的呢？初学拉曼，期待提高，希望各位高手多多指教，万分感谢了
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shengsh
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2010/6/21 15:05:01 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
拉曼光谱仪纵向的分辨率是2um左右，因此要测80nm厚的薄膜，需要很有经验才对，
等待高人指点
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lingbo225764
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2010/6/22 19:52:13 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个确实很难测到，我觉得楼主尽量狂采点吧，文献上也并不是每个点都有信号的吧。
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nanbowan
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2010/7/1 15:24:52 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
1、使用短焦100倍物镜
2、可以尝试使用扩束器将光斑扩大（效果不好可以不用）
3、尝试用尽量短波长的激光（短波长的激光的穿透深度浅）
4、加大积分时间和累积次数
5、使用共焦模式，例如狭缝变小，CCD像素变少
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